一、引言

在FPD（平板顯示）、電子及半導體制造領域，真空環境的潔凈度與穩定性直接影響產品的良率與生產效率。ULVAC愛發科LR90多級羅茨型干式真空泵是LR系列中的主力型號，通過低溫區域的泵體均熱化技術，不僅適用于PVD（物理氣相沉積）工藝，更特別適用于備料室和下料室（Load Lock Chamber）的快速排氣——在這些對縮短排氣時間、提高產能有迫切需求的場合，LR90表現尤為突出。

二、工作原理

LR90采用多級羅茨型干式真空泵技術，其核心結構是在泵殼內設置一對三葉羅茨轉子，通過精密齒輪驅動，使兩轉子以相同頻率沿相反方向高速旋轉。

關鍵設計特征在于：轉子之間、轉子與泵殼之間始終保持微米級的非接觸間隙，互不接觸地旋轉以輸送和壓縮氣體。轉子采用多級結構設計——將多段機械增壓泵集成為一體，通過單軸連接多段轉子，氣體在各級之間逐級壓縮，最終被壓縮至高于大氣壓后排放至大氣中。整個排氣過程中，轉子殼體內不使用油或其他密封液體，從而實現清潔的干式排氣，可獲得從大氣壓到極限壓力的清潔真空。齒輪和軸承部位雖使用潤滑油，但通過精密的密封結構設計，有效防止了油進入泵殼內部。

三、核心技術特點

3.1 低溫區域均熱化技術

LR90突出的技術特征即為低溫區域的泵體均熱化。通過ULVAC有的鋁合金結構設計，泵體在低溫范圍內能夠實現非常均勻的溫度分布。

這一技術使得LR90不僅適用于惰性氣體排氣及PVD工藝場景，更特別適用于備料室和下料室的快速排氣。與HR系列（高溫均熱，適用于CVD和蝕刻工藝）不同，LR系列定位于低溫泵體運行溫度，非常適合對溫度敏感的工藝場景。

3.2 氦氣級密封與安全性

LR90搭載屏蔽電動機（Canned motor），形成全密閉結構，實現氦氣級密封。這一設計從根本上杜絕了有害氣體泄漏的風險，在半導體和FPD等對工藝安全性要求高的行業中尤為重要。

3.3 瞬停對策

針對工業生產中可能出現的電源瞬斷情況，LR90具備1000毫秒（1秒）以內的瞬停對策能力。這一特性有效保障了工藝的連續性和設備的安全性。

3.4 出色的耐腐蝕性

LR90的主要零部件均采用表面硬度高、耐腐蝕性優異的特殊表面處理工藝。這一設計顯著降低了在排氣管腐蝕性氣體時對泵內部的腐蝕損害，延長了設備的使用壽命。

3.5 智能通信與監控功能

LR90支持數據通信功能，可實時讀取與泵運轉狀態相關的數據以及警告/報警履歷。通過使用專用軟件與計算機進行通信，用戶可實現集中監控，對多臺泵的運行狀態進行統一管理。

3.6 顯著的節能效果

在輕載工藝場景中，LR90可與ECO-SHOCK附件組合使用。根據ULVAC實測數據，LR90在極限壓力運行時的功耗為3.6kW，安裝ECO-SHOCK后實測功耗降至1.0kW，電力削減率高達72%。這一劃時代的節能部件為半導體和FPD制造商帶來了顯著的生產成本優勢。

3.7 CE標準對應

LR90全部型號均可對應CE標準（可選），在提高可維護性的同時有效降低了運行噪音。

四、技術規格

LR90的核心技術參數如下：

五、主要應用領域

基于上述技術特點，LR90主要應用于以下場景：

1. 成膜裝置：作為濺射裝置、蒸鍍裝置等PVD工藝的主抽泵。

2. 備料下料室快速排氣：在半導體和FPD產線中，用于縮短Load Lock Chamber的排氣時間，大幅提升產能。

3. 惰性氣體排氣：適用于濺射、蒸鍍、熱處理等惰性氣體工藝場景。

4. 輔助排氣：作為渦輪分子泵或機械增壓泵的前級泵（Backing Pump）。

六、總結

ULVAC愛發科LR90多級羅茨型干泵通過無接觸的三葉羅茨轉子多級壓縮技術實現了清潔的干式真空環境；憑借低溫區域均熱化技術在PVD工藝及備料下料室快速排氣場景中展現出的適用性；依托氦氣級密封、瞬停對策、耐腐蝕處理等設計，在嚴苛的半導體和FPD制造工藝中提供了高可靠性和安全性。配合ECO-SHOCK節能附件可節省約72%的電力消耗，LR90無疑是制造領域追求高效、清潔、節能真空解決方案的理想選擇。