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PVD專用日本ULVAC愛發科多級羅茨型干泵

PVD專用日本ULVAC愛發科多級羅茨型干泵

愛發科LR180與LR60、LR90同屬多級羅茨型干泵系列，核心工作原理一脈相承，都是利用多級三葉羅茨轉子在無油、無接觸的狀態下對氣體進行逐級壓縮，最終排出泵外。

?? 核心工作原理：多級羅茨轉子無接觸壓縮

1. 核心部件：三葉羅茨轉子：泵的核心是泵腔內一對三葉羅茨轉子。這對轉子通過精密齒輪同步，以相反方向高速旋轉，且相互之間、與腔體之間始終保持微米級的間隙，絕不接觸。這種無接觸設計是獲得清潔真空、避免油污染的關鍵。

2. 工作過程：吸入、封閉與排出：隨著轉子旋轉，轉子間及轉子與腔體間的容積會周期性變化，實現氣體的吸入、封閉、壓縮和排出，完成泵送循環。

3. 實現高真空：多級結構：LR180是“多級”泵，內部集成了多個壓縮級。氣體從前一級排出后，會直接進入下一級被繼續壓縮。通過這種逐級增壓的方式，最終能將氣體壓力提升到高于大氣壓并排出，從而在入口處獲得5.0 Pa的高真空。

?? LR180的關鍵技術與特點

• 低溫區域均熱化：LR系列專為較低溫工況設計。它通過獨特的技術使泵體溫度非常均勻，有效利用壓縮熱維持穩定，非常適用于對溫度敏感的PVD（物理氣相沉積）等工藝。

• 出色的密封與安全性：采用屏蔽電動機（Canned motor） 形成全密閉結構，實現氦氣級密封，杜絕了有害氣體泄漏的風險。

• 環境適應性：

• 瞬停對策：具備應對1000毫秒（1秒）以內電源中斷的能力。

• 耐腐蝕性：主要部件經過特殊的表面處理，能有效抵御腐蝕性氣體。

• 智能監控與節能：支持數據通信，可遠程監控運行狀態。在輕載工藝中，結合ECO-SHOCK附件，功耗最高可降低約80%。

?? 主要應用場景

• 薄膜制備：作為濺射、蒸鍍等PVD成膜裝置的主抽泵。

• 快速抽空：用于半導體產線上的備料室、下料室（Load Lock Chamber），以縮短抽氣時間、提高產能。

• 輔助排氣：作為渦輪分子泵或機械增壓泵的前級泵（Backing Pump）。

?? LR180 核心參數速覽

與LR60和LR90相比，LR180擁有更大的排氣速度和更重的質量。

總的來說，LR180作為LR系列的大排量型號，同樣通過“無接觸的多級羅茨轉子”實現清潔真空，并憑借“低溫均熱技術”等核心設計，在PVD等對溫度和潔凈度要求高的工藝中提供穩定、高效的真空環境。