菲希爾X射線測厚儀XULM240信息
菲希爾X射線測厚儀FISCHERSCOPE X-RAY XULM240關(guān)鍵測量性能
鍍層量程全覆蓋
超薄~厚鍍層通測:50nm 金(Au) ~ 100μm 錫(Sn);兼容金、銀、鎳、銅、鉻、鋅、鋅鎳、鈀、銠等主流電鍍層
精度與重復(fù)性
標準片校準:Au>0.1μm 誤差<±5%;無標樣 FP 基本參數(shù)法<±10%
超薄金典型表現(xiàn):80nm 金層 20s 測量,重復(fù)誤差僅 ±2.5nm,變異系數(shù) COV<5%
多層 / 合金分析能力
支持單層、雙層、三層復(fù)合鍍層(如 ABS 底 Cr/Ni/Cu、連接器 Au/Ni/Cu)
FP 無標樣法:固體鍍層、電鍍液金屬濃度、多元合金成分均可直接分析
元素檢測范圍:氯 Cl (17) ~ 鈾 U (92),最多同步分析 5 層鍍層、24 種元素(升級 WinFTM BASIC 軟件)
配套軟件 WinFTM
標配:WinFTM LIGHT(基礎(chǔ)測厚、報表、公差判定)
可選升級:
BASIC:合金分析、電鍍液成分、多層復(fù)雜鍍層算法
PDM/SUPER:SPC 統(tǒng)計、批量自動記錄、導(dǎo)出 Excel、對接產(chǎn)線 MES
功能:自定義上下公差、自動 NG/OK 標記、存儲測量曲線、導(dǎo)出檢測報告
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