一、概述

LR90是日本ULVAC（愛發(fā)科）株式會社旗下LR系列多級羅茨型干式真空泵的中堅型號。該泵屬于低溫區(qū)域均熱化設(shè)計（Model:LR），專為縮短負(fù)載鎖（Load Lock）室及物理氣相沉積（PVD）工藝的抽氣時間而優(yōu)化。作為一款在真空室內(nèi)不使用油或液體的機械真空泵，LR90尤其適用于那些為提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時間的備料下料室。

LR系列覆蓋LR60至LR3601-TR等多個型號，其中LR90在排氣速度與占地面積之間取得了良好平衡，是中等規(guī)模真空系統(tǒng)的理想選擇。

二、工作原理

LR90屬于多級羅茨型干泵。其核心工作原理與CR系列類似：泵體（殼體）內(nèi)部裝有兩組三葉轉(zhuǎn)子，通過一對齒輪以相同轉(zhuǎn)速沿相反方向同步旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與殼體之間互不接觸，保持極小的間隙。氣體在多級轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)中被逐級輸送和壓縮，最終從排氣口排出至大氣壓。

與CR系列不同的是，LR系列采用了低溫區(qū)域均熱化技術(shù)。該技術(shù)通過獨特的設(shè)計有效地利用壓縮熱，使泵體溫度分布更加均勻，從而在處理會產(chǎn)生粉末副產(chǎn)物的工藝氣體時表現(xiàn)出更高的耐久性。

三、核心技術(shù)特點

1. 低溫區(qū)域均熱化（Low Temperature Uniformity）

LR90的核心技術(shù)在于低溫區(qū)域均熱化設(shè)計。通過使泵體溫度分布均勻化，LR90在PVD工藝之外，尤其適用于負(fù)載鎖室等需要縮短排氣時間以提高產(chǎn)能的關(guān)鍵工位。這一設(shè)計使其在惰性氣體排放（濺射、蒸鍍、熱處理等） 場景中表現(xiàn)出色。

2. 氦氣密封（Canned Motor）

LR90搭載屏蔽電動機（Canned Motor），形成密閉結(jié)構(gòu)。這一設(shè)計不僅大幅提升了安全性，還帶來了優(yōu)異的氦氣抽氣能力（Excellent helium pumping capability），使其在需要氦氣檢漏或氦氣工藝的應(yīng)用中表現(xiàn)突出。

3. 瞬停對策（Power Failure Protection）

LR90采取了1000毫秒以內(nèi)的瞬停對策。當(dāng)發(fā)生瞬時停電時，泵可在規(guī)定時間內(nèi)安全恢復(fù)運行，有效避免了因短暫電力中斷導(dǎo)致的工藝中斷和設(shè)備故障。

4. 出色的耐腐蝕性（Superior Corrosion Resistance）

LR90的主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。這一設(shè)計顯著降低了腐蝕性氣體排氣時對泵內(nèi)部的腐蝕，延長了泵在嚴(yán)苛工藝條件下的使用壽命。

5. 通信功能（Communication Function）

LR90支持數(shù)據(jù)通信功能，可讀取與泵運轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告及報警履歷。如果使用專用軟件進(jìn)行計算機通信，則可實現(xiàn)集中監(jiān)控，便于設(shè)備管理和故障診斷。

6. ECO-SHOCK節(jié)能附件（選配）

LR90可與ULVAC的ECO-SHOCK節(jié)能附件結(jié)合使用。通過安裝在排氣線上，ECO-SHOCK可將功耗降低多達(dá)80% 左右。這一附件特別適用于在大氣壓和真空之間反復(fù)抽氣的高負(fù)荷應(yīng)用場景。

四、詳細(xì)技術(shù)規(guī)格

五、LR系列型號對比

六、典型應(yīng)用領(lǐng)域

LR90憑借其低溫均熱化、氦氣密封、耐腐蝕三大核心技術(shù)優(yōu)勢，在以下領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用：

物理氣相沉積（PVD）

• 濺射裝置（Sputtering equipment）的真空排氣

• 蒸鍍裝置（Vapor deposition equipment）的真空系統(tǒng)

負(fù)載鎖與傳輸腔室

• 備料下料室（Load Lock Chamber）的快速排氣——縮短排氣時間對提高產(chǎn)能至關(guān)重要

• 真空傳輸腔室的輔助排氣

半導(dǎo)體與電子制造

• 惰性氣體排放工藝（CVD、干法蝕刻等）

• 制粉過程中的排氣（如Si單晶拉制等）

輔助排氣

• 作為渦輪分子泵（Turbo-molecular pump）的前級泵（Backing pump）

• 作為機械增壓泵（Mechanical booster pump）的輔助排氣泵

七、總結(jié)

ULVAC LR90多級羅茨型干泵是愛發(fā)科LR系列中的中堅力量。其核心技術(shù)價值體現(xiàn)在四個層面：其一，通過低溫區(qū)域均熱化技術(shù)實現(xiàn)泵體溫度的均勻分布，有效利用壓縮熱，在PVD和負(fù)載鎖等需要快速排氣的工藝中表現(xiàn)出的耐久性與效率；其二，氦氣密封（屏蔽電動機） 設(shè)計不僅確保了高的安全性，更帶來了優(yōu)異的氦氣抽氣能力；其三，特殊表面處理賦予主要零部件高硬度與高耐腐蝕性，顯著延長了泵在腐蝕性氣體環(huán)境中的使用壽命；其四，1000毫秒瞬停對策與通信功能的雙重保障，確保了設(shè)備在電力波動環(huán)境中的穩(wěn)定運行和智能化管理。

作為一款專為PVD工藝和負(fù)載鎖快速排氣設(shè)計的干式真空泵，LR90在半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、熱處理等對清潔真空和高產(chǎn)能有嚴(yán)苛要求的工業(yè)領(lǐng)域，提供高可靠性、高耐久性、高安全性的真空解決方案。其245kg的緊湊設(shè)計與112 m3/h（50Hz）的排氣速度，使其在中等規(guī)模真空系統(tǒng)中成為兼顧性能與占地空間的理想選擇。