在半導體、平板顯示（FPD）及電子器件制造領域，工藝環境的清潔度與真空系統的穩定性直接決定著產品良率與生產效率。日本ULVAC愛發科推出的LR90多級羅茨型干泵，以低溫區域泵體均熱化技術為核心，為物理氣相沉積（PVD）工藝及負載鎖定室（Load Lock Chamber）排氣提供了高效、清潔且可靠的真空獲取方案。

一、產品定位：面向PVD與負載鎖定室的專用干泵

LR90是ULVAC LR系列多級羅茨型干泵的中堅型號。該系列泵專為負載鎖定室或PVD工藝（如濺射、蒸鍍等）設計，尤其適用于那些為了提高產能而需要縮短排氣時間的備料/下料室排氣場景。

作為一款干式真空泵，LR90在真空腔體的抽氣過程中不使用油或液體作為工作介質，從而避免了油蒸氣對真空環境的污染，滿足了半導體和電子行業對“更清潔真空”的嚴苛要求。其內部容積與抽速設計使其成為中低真空范圍內（極限壓力5.0 Pa）高效排氣的理想選擇。

二、核心技術原理：多級羅茨與低溫均熱化

LR90采用多級羅茨（Multi-Stage Roots） 式結構設計。在泵殼內，多個三葉轉子通過一對精密齒輪以相同頻率沿相反方向高速旋轉，轉子之間以及轉子與泵殼之間保持極小的間隙、互不接觸，從而實現對氣體的無油輸送與壓縮。

LR90的核心技術突破在于其獨特的低溫區域泵體均熱化設計。ULVAC利用鋁合金優異的導熱性能，通過巧妙的結構設計使泵體內部各腔室的溫度分布極其均勻。這種均勻的溫度場帶來了多重優勢：

• 防止工藝氣體凝結：均勻的泵體溫度有效避免了PVD工藝中副產物氣體在泵內低溫區域的凝結，減少了顆粒物生成。

• 保障穩定的抽氣性能：溫度均勻性確保了各級羅茨轉子間隙的穩定，從而維持了長期一致的抽速表現。

• 提升耐腐蝕性：配合主要零部件的特殊表面處理（高表面硬度、高耐腐蝕性），顯著降低了腐蝕性氣體排氣時對泵內部的侵蝕。

三、核心功能與特點

1. 排氣性能

LR90在50Hz電源頻率下最大排氣速度可達112 m3/h（1,860 L/min），60Hz下可達126 m3/h（2,100 L/min）。極限壓力可達5.0 Pa。最大吸氣壓力為大氣壓，最大排氣口壓力為1.0至大氣壓。

2. 氦氣密封與屏蔽電動機

LR90搭載屏蔽電動機（Canned Motor） ，電機轉子與定子之間通過密封套隔離，形成密閉結構。這一設計帶來了出色的氦氣抽取能力，同時確保了高的安全性，杜絕了工藝氣體泄漏的風險。

3. 瞬停對策（斷電保護）

LR90具備1,000毫秒以內的瞬停對策能力。當發生瞬時電源中斷時，泵可承受最長1,000毫秒的斷電而不發生故障。這一特性在電網波動頻繁的工業現場尤為重要，有效避免了因瞬時停電導致的工藝中斷和設備損壞。

4. 智能監控與通信功能

LR90支持數據通信功能，用戶可通過專用軟件與計算機連接，實現集中監控。可讀取的數據包括泵運轉狀態、警告信息及報警履歷等，為預測性維護和故障診斷提供了數據支撐。

5. 出色的耐腐蝕性

LR90的主要零部件均經過特殊表面處理，具有高表面硬度和優異的耐腐蝕性，能夠在暴露于腐蝕性氣體時有效防止泵內部件的磨損與腐蝕。

四、技術規格概覽

五、典型應用場景

LR90廣泛應用于以下領域：

• 成膜裝置：濺射裝置、蒸鍍裝置等PVD工藝設備的真空排氣。

• 負載鎖定室排氣：縮短備料室與下料室的排氣時間，顯著提升產線吞吐量。

• 輔助排氣泵：作為渦輪分子泵（TMP）或機械增壓泵（Mechanical Booster Pump）的前級泵使用。

此外，LR90還可與ULVAC PRC系列機械增壓泵組合使用（如PRC-06A），構成更高抽速的真空機組，滿足更大腔體的排氣需求。

六、ECO-SHOCK節能附件（選配）

LR90可選配ULVAC的ECO-SHOCK節能附件。該附件通過優化泵的運行控制，可將干式真空泵的功耗降低高達80%（與本公司相比）。實測數據顯示，LR90安裝ECO-SHOCK后，功耗可從3.6 kW降至1.0 kW，功率降低率達72%。ECO-SHOCK還具有抑制干泵發熱的作用，可進一步降低空調設備的功耗。

七、總結

ULVAC愛發科LR90多級羅茨型干泵，以多級羅茨結構與低溫區域泵體均熱化技術為核心，在112 m3/h的排氣速度下實現了5.0 Pa的極限壓力。其屏蔽電動機帶來的氦氣密封能力、1,000毫秒瞬停對策、智能通信功能以及優異的耐腐蝕性，使其在PVD工藝與負載鎖定室排氣等嚴苛應用場景中表現出色。配合ECO-SHOCK節能附件，LR90在保障高效清潔真空的同時，實現了顯著的節能減排效果。作為半導體、FPD及電子器件制造領域的中低真空核心設備，LR90是追求高良率、高產能與低運營成本的理想之選。