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真空全域的壓縮邏輯：愛發科全系真空泵工作原理解析
愛發科（ULVAC）作為全球真空設備 ，依托七十余年真空技術積淀，構建覆蓋粗、中、高、超高真空全區間的真空泵產品線，不同品類設備依托容積壓縮、低溫吸附、動量傳輸三類核心物理原理，實現密閉腔體氣體排出，適配半導體、光學鍍膜、實驗室檢測、化工熱處理等多元場景。下文按主流機型拆解底層運行邏輯，厘清不同真空區間的實現路徑。
第一類為油式旋片真空泵（GLD/GCD/VS 系列），是中真空領域通用前級泵，采用雙級偏心容積壓縮原理。泵體內轉子偏心安裝于定子腔體，轉子槽內置兩片石墨旋片，腔體加注專用真空油。電機驅動轉子持續旋轉時，旋片受離心力緊密貼合缸壁，將內腔分割為獨立密閉氣室。氣室旋轉至進氣口區域，腔體容積擴張、氣壓下降，外部腔體氣體被吸入；轉子繼續轉動，氣室空間持續收窄，氣體逐步壓縮；當氣室對準排氣口，高壓氣體頂開單向閥排出。雙級串聯結構分為初級粗壓縮腔與次級精壓縮腔，逐級分攤壓縮比，極限真空可達 1Pa 級別。真空油同步承擔密封、潤滑、冷卻、降噪四大功能，磁耦合傳動款取消機械軸封， 解決漏油問題，多用于實驗室脫泡、小型鍍膜預抽。
愛發科旋片油泵LS120
第二類是工業量產核心干式真空泵（螺桿 LS/MS、多級羅茨 GR 系列），主打無油潔凈真空，核心為無接觸容積式壓縮。螺桿干泵內部搭載一對漸變齒形螺桿轉子，同步齒輪驅動兩根轉子反向高速嚙合，轉子、泵殼間預留微米級微小間隙，全程無物理摩擦、無潤滑油接觸工藝氣體。氣體從進氣端進入螺桿間隙，隨轉子軸向旋轉，密封腔體容積沿氣流方向持續縮小，氣體被平緩壓縮至常壓排出。多級羅茨泵采用 3-4 組八字形轉子串聯，分級壓縮分散負荷，搭配 ECO-SHOCK 節能模塊，同等抽速功耗降低 30%。泵腔內壁做耐腐蝕硬質涂層，可穩定抽取刻蝕、CVD 產生的腐蝕性尾氣與粉末，是半導體晶圓制程標配設備，杜絕油蒸汽污染精密基板。
愛發科螺桿干泵LS1200
第三類小型粗真空設備隔膜 / 活塞干泵（DA/DTC、DOP 系列），依靠往復形變容積變化抽氣。偏心輪帶動氟塑料隔膜或橡膠皮碗周期性上下運動：隔膜抬起時泵腔擴容，進氣閥開啟吸入氣體；隔膜下壓腔體收縮，進氣閥閉合、排氣閥頂開釋放氣體。整機流道無油結構，DTC 系列全 PTFE 材質耐強溶劑腐蝕，極限真空 1-10kPa，體積小巧、噪音低，適配實驗室微量脫氣、自動化真空吸盤、醫療負壓設備。
第四類超高真空設備低溫冷凝泵（CRYO 系列），依托極低溫吸附凝縮原理突破高真空區間。內置制冷機組將金屬吸附板降溫至 20K 以下超低溫，真空腔內氣體分子碰撞低溫板面后，直接凝結、固化并 吸附，無需機械壓縮即可捕獲水汽、氮氣、氬氣等絕大多數氣體，極限真空可達 10??Pa。設備無機械磨損、抽氣速率遠高于離子泵，廣泛用于光學濺射、 電子束設備，僅需定期升溫再生，釋放捕獲氣體即可循環使用。
愛發科低溫冷凝泵
綜合來看，愛發科全系設備核心邏輯均圍繞改變密閉容積實現氣體輸送或低溫捕獲氣體分子，通過差異化機械結構適配不同潔凈度、真空度、腐蝕性工況。油旋片泵性價比突出，適配通用中真空；干式泵滿足 潔凈制程；隔膜泵服務小型輕載場景；低溫泵攻克超高真空需求。多泵組組合搭配使用，可搭建從常壓到超高真空的完整真空系統，這也是愛發科真空方案覆蓋全工業領域的核心技術優勢
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