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EBARA荏原EV-PA系列 風冷無油干式真空泵
EBARA荏原EV-PA系列為無油干式真空泵，采用風冷結構，無需水冷，整機無油設計，真空潔凈度高，運行穩定、免維護，廣泛配套分析儀器、半導體設備、實驗室真空系統、檢漏設備等，是中小流量潔凈真空場景通用型前級真空泵。
產品核心特點
1. 全無油干式結構，泵腔無潤滑油，無油煙、無返油，提供高潔凈真空，杜絕樣品、腔體污染，適配精密儀器潔凈工況。
2. 風冷一體式設計，無需外接冷卻水，接線即可使用，安裝簡單，適配設備內嵌、臺式擺放、移動式使用。
3. 轉子非接觸結構，無磨損配件，無需定期換油、更換油封，維保成本低，可長期連續穩定運行。
4. 低噪音、低振動，體積小、重量輕，適配實驗室、檢測車間、精密設備配套使用。
5. 寬電壓通用，適配國內220V市電，支持設備自動化集成，帶信號拓展接口，適配OEM設備配套。
6. 帶氣鎮功能，可抽取微量水汽，適配脫泡、干燥、常規負壓抽氣工況。
常規型號參數
EV-PA250：抽速230L/min，極限真空0.5Pa，進氣接口NW25
EV-PA500：抽速500L/min，極限真空0.5Pa，進氣接口NW40
適用場景
半導體小型腔體、等離子清洗、真空鍍膜、芯片封裝、掃描電鏡、質譜儀、XRD檢測儀、氦質譜檢漏儀、實驗室真空脫泡、真空干燥、新能源小樣測試、精密儀器負壓配套。
產品優勢對比
對比油式真空泵：無油污污染、無需頻繁保養、真空潔凈度更高；對比渦旋干泵：穩定性更強、故障率低、適合長時間連續作業；對比大型干泵：體積小巧、功耗低、安裝便捷，中小型設備適配度更高。
售后說明
本店銷售EBARA荏原EV-PA系列真空泵，現貨直發，提供選型咨詢、配套管路方案、技術調試支持，可提供產品樣本、參數曲線，支持對公采購。
型號怎么選（直白選型指南）
EV-PA250（230L/min）：適配小型設備、小腔體、低負荷間歇作業。適合臺式儀器、小型真空脫泡、小樣干燥、實驗室常規實驗、單臺檢漏儀配套，體積更小、擺放靈活、功耗更低，是小流量潔凈真空。
EV-PA500（500L/min）：適配中大腔體、連續作業、多設備并聯、抽氣量大工況。適合等離子清洗、小型鍍膜、半導體腔體、批量脫泡、長時間連續運行設備，抽速更快、抽空效率更高，可滿足大容積真空需求。
通用選型標準：兩款型號極限真空均為0.5Pa，潔凈等級一致，僅抽速與接口規格不同。小工況、輕負載選250；大容積、快抽空、連續作業選500。
本店銷售EBARA荏原EV-PA系列真空泵，現貨直發，提供選型咨詢、配套管路方案、技術調試支持，可提供產品樣本、參數曲線，支持對公采購。
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