產(chǎn)品核心優(yōu)勢

1. 全無油干式結(jié)構(gòu)，杜絕工藝污染

   泵腔內(nèi)部無潤滑油，無返油、油霧析出問題，保障腔體、樣品不受碳氫污染物干擾，滿足半導(dǎo)體、精密分析儀器等高潔凈制程需求。搭載氣鎮(zhèn)功能，具備優(yōu)秀水蒸氣抽取能力，適配含水汽抽氣工況。

2. 一體式風(fēng)冷設(shè)計，部署靈活便捷

   整機強制空氣冷卻，無需鋪設(shè)冷卻水管道，僅接入電源即可啟動，不受廠房供水條件限制，可放置在設(shè)備旁、實驗機房、狹小空間安裝。50/60Hz 工況下抽速性能穩(wěn)定，適配國內(nèi) 220V 供電環(huán)境。

3. 非接觸轉(zhuǎn)子設(shè)計，運維成本極低

   多級羅茨轉(zhuǎn)子運轉(zhuǎn)互不接觸，無磨損耗材，無需頻繁更換油封、潤滑油，正常潔凈工況實現(xiàn)長期連續(xù)運行，大幅減少停機維保工時與耗材投入。搭載智能怠速休眠模式，有效降低長期運行能耗。

4. 低噪低振動，運行穩(wěn)定可靠

   整機優(yōu)化流體結(jié)構(gòu)，運行噪音低、振動控制優(yōu)異，適配精密檢測設(shè)備、電子顯微鏡、質(zhì)譜儀等對振動敏感的裝置。內(nèi)置多重傳感器，支持溫度、負載實時監(jiān)測，故障自動報警保護。

5. 智能通訊拓展，兼容自動化集成

   配備標準化信號接口，支持遠程狀態(tài)監(jiān)控、故障信號輸出，方便對接自動化真空控制系統(tǒng)，適配 OEM 設(shè)備配套。產(chǎn)品滿足 SEMI-S2、CE 規(guī)范，潔凈車間、海外設(shè)備配套均可合規(guī)使用。

主流型號基礎(chǔ)參數(shù)

典型應(yīng)用領(lǐng)域

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