核心技術優(yōu)勢

1. 全無油干式結構，真空潔凈無污染

   采用非接觸多級羅茨轉子設計，泵腔內部無需潤滑油，杜絕返油、油霧污染，保護腔體、樣品不被碳氫雜質影響，滿足精密制程潔凈要求。標配氣鎮(zhèn)閥，最大可處理 500g/h 水蒸氣，適配含水汽抽氣工況。

2. 一體式風冷設計，安裝部署簡單

   整機空氣冷卻，無需鋪設冷卻水管道，僅接入電源即可運行。支持單相 / 三相 200~240V 供電，50/60Hz 下性能保持一致，廠房、實驗室無供水條件也可直接使用。標配帶鎖腳輪與調平底座，移動擺放靈活。

3. 大氣抽氣性能突出，抽空效率高

   大氣壓區(qū)間抽速表現(xiàn)優(yōu)異，適合腔體頻繁破真空、循環(huán)抽真空場景，快速從大氣壓抽至目標真空，對比同規(guī)格干泵縮短循環(huán)作業(yè)時長。

4. 長周期穩(wěn)定運行，運維成本低

   轉子無接觸運轉，無易磨損滑片、密封件，無需頻繁更換油品、耗材，支持 24 小時連續(xù)運轉，減少停機維護時間，長期使用綜合成本更低。整機低噪音、低振動，適配對震動敏感的精密設備。

5. 標準化信號接口，支持自動化集成

   預留狀態(tài)監(jiān)測、故障報警輸出端口，方便對接設備控制系統(tǒng)，適配 OEM 整機配套。產(chǎn)品滿足 SEMI-S2、CE 規(guī)范，潔凈車間、海外設備配套均可合規(guī)使用。

基礎參數(shù)

典型應用領域

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