EBARA 荏原 EMT/EBT 系列復(fù)合渦輪分子泵

來(lái)源：玉崎半導(dǎo)體(深圳)有限公司 2026年07月25日 11:06

EBARA 荏原 EMT、EBT 系列為復(fù)合式渦輪分子泵，是實(shí)現(xiàn)高真空、超高真空工況核心主抽泵。EMT 為磁懸浮軸承型，EBT 為陶瓷滾珠軸承型，覆蓋寬廣抽速區(qū)間，支持空冷 / 水冷、控制器一體 / 分離多種配置，廣泛配套半導(dǎo)體設(shè)備、分析儀器、鍍膜設(shè)備，適配潔凈超高真空制程。

產(chǎn)品核心特點(diǎn)

兩種軸承方案靈活選型
EMT 磁懸浮軸承：無(wú)機(jī)械接觸、振動(dòng)極低、使用壽命長(zhǎng)，適合對(duì)震動(dòng)敏感、長(zhǎng)期不間斷運(yùn)行、超高真空精密工況；
EBT 陶瓷滾珠軸承：結(jié)構(gòu)堅(jiān)固、性價(jià)比高，耐受突發(fā)大氣沖擊，適配移動(dòng)式真空平臺(tái)、常規(guī)科研與工業(yè)高真空?qǐng)鼍啊煞N機(jī)型均可任意姿態(tài)安裝。
復(fù)合轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)，輕氣體壓縮性能優(yōu)異
復(fù)合葉輪設(shè)計(jì)，氮?dú)狻錃鈮嚎s比高，極限真空表現(xiàn)出色，輕松實(shí)現(xiàn)高真空 / 超高真空區(qū)間穩(wěn)定抽氣，可匹配干式真空泵作為前級(jí)泵配套使用。
冷卻方式可選，部署靈活
支持風(fēng)冷、水冷兩種散熱方案；可選一體式內(nèi)置控制器，簡(jiǎn)化布線，減少外部配件占用空間。具備網(wǎng)絡(luò)通訊接口，支持遠(yuǎn)程監(jiān)控、故障報(bào)警，便于集成自動(dòng)化真空系統(tǒng)。
豐富定制選配
可提供耐腐蝕涂層、高溫烘烤規(guī)格，適配含微量腐蝕性氣體工況；產(chǎn)品滿足 SEMI-S2、CE 標(biāo)準(zhǔn)，可用于半導(dǎo)體潔凈廠房、海外設(shè)備配套。
潔凈無(wú)油真空輸出
泵體內(nèi)部無(wú)潤(rùn)滑油揮發(fā)，不會(huì)對(duì)腔體、樣品造成碳?xì)湮廴荆瑵M足表面分析、電子顯微鏡、薄膜制備等高潔凈真空需求。

主流型號(hào)參考

EBT（陶瓷軸承系列，單位 L/s）

EBT70F、EBT220F、EBT240F、EBT350F、EBT450F、EBT800F、EBT1100F、EBT1400F、EBT2400F

EMT（五軸磁懸浮軸承系列，單位 L/s）

EMT397M、EMT907M、EMT1307M、EMT2400M、EMT1700MK、EMT2200MK、EMT3300MK、EMT4200MK

典型應(yīng)用領(lǐng)域

?分析儀器：SEM 掃描電鏡、TEM 透射電鏡、XPS、AES、氦質(zhì)譜檢漏儀

?半導(dǎo)體行業(yè)：晶圓檢測(cè)設(shè)備、小型沉積腔體、MEMS 加工、量測(cè)設(shè)備

?光學(xué)與鍍膜：光學(xué)薄膜蒸鍍、磁控濺射、電子束蒸發(fā)設(shè)備

?科研實(shí)驗(yàn)室：超高真空腔體、束線裝置、材料物性測(cè)試、空間模擬裝置

?光電光伏：LED、光伏器件研發(fā)真空制程

選型說(shuō)明

追求超低振動(dòng)、超長(zhǎng)壽命、精密設(shè)備優(yōu)先選擇EMT 磁懸浮型號(hào)；預(yù)算適中、設(shè)備允許少量維護(hù)、需要耐受頻繁充氣沖擊，選擇EBT 陶瓷軸承型號(hào)。使用時(shí)必須搭配荏原 EV-PA/EV-SA/EV-A 系列干式真空泵作為前級(jí)泵組成真空機(jī)組。

選購(gòu)提示

本店供應(yīng) EBARA 荏原 EMT、EBT 渦輪分子泵，配套驅(qū)動(dòng)器、線纜可選，支持技術(shù)選型、真空機(jī)組成套方案，可提供樣本性能曲線，支持對(duì)公采購(gòu)。

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