EBARA 荏原 ESA 系列水冷多級羅茨干式真空泵

來源：玉崎半導體(深圳)有限公司 2026年07月25日 11:09

EBARA 荏原 ESA 系列為水冷式無油干式羅茨真空泵，專為大流量工況、氫氣等輕質氣體抽氣優化，是半導體 MO-CVD 外延、LED、光伏、大型真空腔體量產產線主力干泵，支持 7×24 小時連續工藝運行，兼顧耐腐蝕、高負載、智能節能特性。

核心技術優勢

全無油干式結構，保障工藝潔凈度
多級羅茨非接觸轉子結構，泵腔無潤滑油，杜絕油霧返流污染腔體與晶圓，滿足半導體潔凈制程要求。標配可控氮氣吹掃系統，適配連續工藝排氣工況。
輕氣體優異抽氣性能，MO?CVD 機型
針對氫氣、氦氣等輕質氣體優化壓縮結構，氫氣流速表現突出，ESA25?D、ESA70W 系列大量應用于 MOCVD 外延設備；適配腔體頻繁循環抽真空、大容積快速抽空需求。
水冷穩定散熱，適配長時間量產運行
整機水冷散熱，熱負載控制穩定，適合工廠潔凈車間不間斷連續生產；可選標準型 W、耐蝕 WN 鎳合金腔體版本，應對含微量腐蝕性工藝氣體。
智能變頻轉速自適應，降低綜合能耗
搭載負荷感應調速系統，根據工藝氣體流量自動調節轉子轉速，減少空載功耗；內置液晶控制器，存儲報警履歷、故障記錄，支持遠程通訊對接產線控制系統。
成熟耐腐蝕機身，長周期穩定運行
泵體采用耐蝕 NiResist 鑄鐵基材，WN 版本強化防腐能力；可選有機溶劑排氣套件，適配含有機蒸氣工藝；整機符合 SEMI?S2、CE 規范，滿足半導體廠房準入標準。

ESA25?D：抽速 3000L/min (50Hz)，極限真空 1Pa

ESA70W?D / ESA70WN?D：抽速 7000L/min (50Hz)，極限真空 0.27Pa

ESA100W：抽速 10000L/min (50Hz)，極限真空 0.4Pa

ESA200W：抽速 20000L/min (50Hz)

ESA300W、ESA500W、ESA700W（超大流量機型，適配大型 FPD、光伏腔體）

?半導體行業：MO?CVD、EPI 外延、大型 Load Lock 傳輸腔、PECVD 沉積設備

?LED / 光電子：LED 外延生長、化合物半導體工藝

?光伏產業：薄膜沉積、大型真空腔體抽氣

?面板 FPD：LCD/OLED 濺射、大型腔體快速抽空

?科研工業：大容積真空系統、氫氣工藝、中型真空鍍膜

ESA 為水冷大流量工藝干泵，區分標準 W 型與防腐 WN 型；工藝含腐蝕氣體優先選用 WN 防腐版本。

對比 EV?SA 風冷系列：ESA 抽速更大、支持重負載量產工況，需要配套冷卻水；EV?SA 為風冷小型機型，適合實驗室、研發樣機輕負荷場景。

本店供應 EBARA 荏原 ESA 系列干式真空泵，支持標準款、防腐 WN 款選型，配套管路、控制方案可提供，可提供產品樣本與性能曲線，支持對公采購。

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