EBARA荏原ESR系列水冷多級羅茨干式真空泵產品介紹

來源：玉崎半導體(深圳)有限公司 2026年07月28日 16:11

EBARA 荏原 ESR 系列為節能型水冷無油干式羅茨真空泵，主打潔凈至中等腐蝕工況，搭載變頻調速與智能怠速節能技術，機身緊湊、綜合運維成本低，廣泛用于半導體刻蝕、PVD、離子注入、Load Lock 腔體，是量產產線通用型工藝干泵。

核心技術優勢

全無油干式結構，保障真空潔凈度
多級非接觸羅茨轉子，泵腔無潤滑油，杜絕返油、油霧污染，保護晶圓與腔體。潔凈工況下無需持續氮氣吹掃，降低氮氣消耗。
水冷散熱，長時間連續運行穩定
整機水冷控溫，熱負載穩定，適配工廠 7×24 小時不間斷量產；分為標準 W 款、防腐 WN 款，WN 機型采用 NiResist 耐蝕合金腔體，搭配多路氮氣吹掃，可應對含鹵素、水汽的中等腐蝕工藝。
變頻可調抽速 + 智能怠速節能
無刷直流電機，轉速自適應調節；腔體空載自動進入怠速模式，相比傳統工頻干泵顯著降低耗電，長期運營能耗優勢突出。
緊湊型機身，占地更小
同抽速等級體積優于傳統機型，適配潔凈廠房 Subfab 機房、設備底層安裝；低振動、低噪音，滿足無塵車間環境要求。
監控與自動化集成
一體式控制器，存儲運行日志、故障報警記錄；支持模擬 / 數字信號通訊，可對接產線中控系統，具備溫度、壓差、過載多重保護。產品符合 SEMI-S2、CE 規范。

ESR20N：2000L/min

ESR30N：3000L/min

ESR80WN：8500L/min

ESR100WN：10000L/min

ESR200WN：20000L/min

ESR300WN：30000L/min

ESR500WN：46000L/min

后綴說明：W = 水冷標準型，WN = 水冷防腐耐蝕版本

?半導體行業：晶圓 Load Lock 傳輸腔、干法刻蝕、PVD 濺射、等離子灰化、離子注入、小型 CVD 腔體

?分析檢測：SEM、量測設備真空系統

?光電面板：OLED/LCD 基板預抽、光學薄膜鍍膜設備

?光伏新能源：薄膜沉積、硅片熱處理真空工藝

ESR 定位通用型水冷工藝干泵，覆蓋潔凈～中等腐蝕工況；純潔凈工藝選 W 標準款，含有腐蝕性氣體、水汽優先選用 WN 防腐版本。

對比 ESA 系列：ESA 針對氫氣等輕質氣體深度優化，多用于 MOCVD；ESR 通用性更強，適配刻蝕、濺射、傳輸腔等絕大多數中段工藝。

本店供應 EBARA 荏原 ESR 系列干式真空泵，區分標準款、防腐 WN 款，可提供成套真空機組方案、樣本與性能曲線，支持對公采購與技術選型咨詢。

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