溫度范圍

-190℃ ~ 600℃（負溫需配液氮制冷系統）

加熱塊材質

銀

傳感器/溫控方式

100Ω鉑RTD / PID控制

*大加熱/制冷速度

+150℃/min （100℃時）

-50℃/min （100℃時）

*小加熱/制冷速度

±0.01℃/min

溫度分辨率

0.01℃

溫度穩定性

±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃）

軟件功能

可設溫控速率，可設溫控程序，可記錄溫控曲線

適用光路

透射光路 和 反射光路

窗片

可拆卸與更替的窗片

*小物鏡工作距離

5 mm *截面圖中WD

*小聚光鏡工作距離

11.5 mm  *截面圖中CWD

透光孔

φ2 mm *截面圖中φVA

上蓋窗片觀察

窗片范圍φ18mm，*大視角±45°  *截面圖中θ1

底部窗片觀察

窗片范圍φ18mm，*大視角±19° *截面圖中θ2

負溫下窗片除霜

吹氣除霜管路

加熱區/樣品區

?30 mm

*使用XY移動尺時樣品區由樣品襯底決定

樣品腔高

2.5 mm

*樣品*大厚度 = 樣品腔高 – 樣品襯底厚度

樣品襯底

默認為石英坩堝（內徑>9mm/厚0.5mm）

*可根據用戶使用需求更換為其他

放樣

水平抽出上蓋后置入樣品

樣品XY移動尺

可從密封腔外移動樣品，分辨率10μm，行程10mm

氣氛控制

氣密腔，可充入保護氣體

外殼冷卻

可通循環水，以維持外殼溫度在常溫附近

安裝方式

水平安裝 或 垂直安裝

臺體尺寸/重量

159.7 mm x 86 mm x 22 mm / 500g

基本配置

HCS621GXY冷熱臺 、mK2000B溫控器

可選配件

冷熱臺安裝支架 、液氮制冷系統 、外殼循環水冷系統、真空系統（僅用于真空型號）