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硅晶圓厚度傳感器 SIT-200  是一款由 Alnair Labs 公司開發的，核心優勢在于能在苛刻的工業環境下，對表面不平整的晶圓進行快速、非接觸式的精確測量。

全光學、非接觸式硅晶圓厚度傳感器
高動態范圍，可測量不規則表面
可在濕法蝕刻過程中進行原位測量

系統構成

硅晶圓厚度傳感器由精確調諧的波長掃描激光光源、聚焦傳感器和光接收器（PD）構成。波長掃描光聚焦在目標上，由目標表面反射形成的干涉圖案，在通過傳感器后被光電二極管（PD）檢測。

規格

以上規格如有變更，恕不另行通知。

應用：晶圓厚度監測、濕法蝕刻過程中的實時測量、光學傳感器、晶圓。

Alnair Labs Si/硅晶圓厚度測量儀 實時監測 SIT-200 / SIT-2008 為非接觸式硅晶圓激光厚度傳感器，可在濕法刻蝕中原位實時測厚，能測量形貌粗糙的晶圓，完成晶圓厚度監測、刻蝕進程管控。主要用于芯片代工、MEMS 器件、半導體材料制造行業，適配晶圓濕法刻蝕、薄片來料質檢、晶圓減薄等半導體制程厚度檢測。

Alnair Labs Si/硅晶圓厚度測量儀 實時監測 SIT-200 / SIT-2008 為非接觸式硅晶圓激光厚度傳感器，可在濕法刻蝕中原位實時測厚，能測量形貌粗糙的晶圓，完成晶圓厚度監測、刻蝕進程管控。主要用于芯片代工、MEMS 器件、半導體材料制造行業，適配晶圓濕法刻蝕、薄片來料質檢、晶圓減薄等半導體制程厚度檢測。