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這是制造商為日本土井精密ラップ株式會社（Doi Precision Lapping Co., Ltd.）生產的一款光掩模基板檢查裝置（Flatness Tester for Photomask），主要用于高精度測量大型光掩模基板的厚度和平面度。

產品概述

• 型號：Torin G8 和 Torin G10（兩種尺寸規格）

• 核心功能：將光掩模基板垂直立起（無應力狀態），使用非接觸式半導體激光傳感器，高精度測量基板的厚度和平面度。

• 應用場景：面向半導體或顯示面板制造中，大尺寸石英光掩模基板的表面質量檢測。

技術特點

• 測量方式：基板垂直放置，利用兩組對向的激光傳感器（分別針對鏡面和粗糙表面）進行測量。

• 高精度軸系：測量軸采用空氣軸承，長期保持高精度；主基座和滑軌使用印度黑花崗巖（Micro Granite®），穩定性優異。

• 計算機控制：伺服電機驅動，速度和定位由電腦控制，可靈活設定。

• 最大測量能力：G8 為 1400×1600mm，G10 達 2000×2100mm。

關鍵規格對比

Doi Precision Lapping 光掩模平整檢測設備 Torin G8 ，該設備用于高精度測量半導體光掩模基板的厚度與兩面平面度，采用非接觸式激光傳感技術，適用于半導體制造、集成電路光刻、平板顯示及石英基板加工等行業，確保掩模版在芯片制造過程中的精度與良率。

Doi Precision Lapping 光掩模平整檢測設備 Torin G8 ，該設備用于高精度測量半導體光掩模基板的厚度與兩面平面度，采用非接觸式激光傳感技術，適用于半導體制造、集成電路光刻、平板顯示及石英基板加工等行業，確保掩模版在芯片制造過程中的精度與良率。