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產品簡介
| 泵軸位置 | 其他 | 輸送介質 | 其他 |
| 葉輪數目 | 其他 | 應用領域 | 生物產業,能源,電子/電池,制藥/生物制藥,電氣 |

磁懸浮軸承型復合分子泵TG-M系列
渦輪分子泵由多層轉子葉片和定子葉片組成。 下圖所示的是葉片的角度以及旋轉方向的關系 氣體分子從高真空側進入泵內,附著于轉子葉片后將按照麥克斯韋分布朝不同方向脫離。 然而,由于葉片的傾斜角度和旋轉,分子飛入下一層,并且容易穿過定子葉片再向下。 同時,從下層飛入并通過固定葉片后逆行的氣體分子,也能通過與轉子葉片碰撞再次飛到下一層。 葉片的角度是,上層的氣體分子容易通過(排氣方向的流向和逆流的差較大)的角度,而下層的氣體分子不容易逆行的(排氣方向的流向和逆流的比較大)角度。 在分子流域,渦輪分子泵是通過該轉子葉片和定子葉片發揮基本性能
主要特點
?無油的超真空環境
?機械式的氣體分子排氣(動態排氣),對所有的氣體的排氣速度大致相同
?可排稀有氣體和腐蝕性氣體
?可連續排大流量氣體
?可工作的壓力范圍寬。 (~10-10Pa).
OSAKA磁懸浮軸承型復合分子泵TG-M系列
使用磁懸浮軸承實現無油的排氣,而且維護周期長。提供排氣速度300L/s~3400L/s的產品。
TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M
省電力設計
工作數據,軸承接觸次數,機種情報等都可存儲于分子泵本體 ※進行保養時即使更換控制器,數據也可進行轉移
多種通信規格(可對應EtherCAT)
國際規格
符合CE,SEMI-S2,NRTL規格
應用場合:
半導體制造設備
FPD制造設備
太陽能電池制造設備
玻璃/鏡片等光學部件加工
薄膜加工
加速器/宇宙環境實驗設備
技術參數:



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