氦質(zhì)譜檢漏儀
1. 概述
本儀器是以氦氣作為示漏氣體專門用于檢漏的質(zhì)譜檢漏儀器,廣泛用于科研、真空、制冷、汽車、電力、以及其它相關(guān)行業(yè),具有響應(yīng)速度快、靈敏度高、易使用、少維護(hù)的特點(diǎn)。
A100 推車式氦質(zhì)譜檢漏儀,靈敏度高、操作便捷、低維護(hù),使您放心得到準(zhǔn)確可靠的測(cè)試結(jié)果。
產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于科研院所、航空航天、動(dòng)力鋰電池, 閥門、精密儀表、機(jī)械加工、電力、半導(dǎo)體、光伏、真空鍍膜、真空熱處理等。
氦質(zhì)譜檢漏儀
功能描述
u 支持正壓檢漏,負(fù)壓檢漏
u 自動(dòng)跟蹤本底,提供快速可靠的測(cè)量結(jié)果
u 優(yōu)化設(shè)計(jì)的質(zhì)譜系統(tǒng)和智能算法確保在所有量程快速響應(yīng)
u 高可靠性的真空系統(tǒng)和質(zhì)譜系統(tǒng)確保快速清氦
u 支持氮?dú)馄瓶眨皇墉h(huán)境氦氣干擾,快速降低本底
u 機(jī)器的性能支持 7*24 小時(shí)長(zhǎng)時(shí)間在線測(cè)試
u 機(jī)器的性能支持幾秒一次的高頻率測(cè)試
u 配有檢漏口精細(xì)過(guò)濾器,過(guò)濾細(xì)微雜質(zhì),確保機(jī)器不受雜質(zhì)影響和損傷
u 雙銥絲離子源,有效的系統(tǒng)設(shè)計(jì),防大氣沖擊
u 支持定制檢漏工作臺(tái),更加便捷使用
1.1. 氦質(zhì)譜檢漏儀技術(shù)參數(shù)
最小可檢漏率(負(fù)壓法) | 5×10-13Pa·m3/s |
最小可檢漏率(正壓法) | 5×10-9Pa·m3/s |
漏率顯示范圍 | 1×10-1~1×10-13Pa·m3/s |
粗檢
進(jìn)氣口壓強(qiáng) 中檢 精檢 |
啟動(dòng)時(shí)間 | <2min |
響應(yīng)時(shí)間 | <0.5s |
粗抽泵抽速 | 16 m3/h |
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重量 | 83Kg |
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尺寸(長(zhǎng)*寬*高 mm) | 830*520*1000 |







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