半導(dǎo)體行業(yè)專用氦檢儀參數(shù)

A500  干泵推車式氦質(zhì)譜檢漏儀，靈敏度高、操作便捷、低維護(hù)，使您放心得到準(zhǔn)確可靠的測(cè)試結(jié)果。

產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于科研院所、航空航天、半導(dǎo)體、半導(dǎo)體氣柜，光伏等行業(yè)。

半導(dǎo)體行業(yè)專用氦檢儀功能

u 支持正壓檢漏，負(fù)壓檢漏

u 自動(dòng)跟蹤本底，提供快速可靠的測(cè)量結(jié)果

u 優(yōu)化設(shè)計(jì)的質(zhì)譜系統(tǒng)和智能算法確保在所有量程快速響應(yīng)

u 高可靠性的真空系統(tǒng)和質(zhì)譜系統(tǒng)確保快速清氦

u 支持氮?dú)馄瓶眨皇墉h(huán)境氦氣干擾，快速降低本底

u 機(jī)器的性能支持 7*24 小時(shí)長(zhǎng)時(shí)間在線測(cè)試

u 機(jī)器的性能支持幾秒一次的高頻率測(cè)試

u 配有檢漏口精細(xì)過(guò)濾器，過(guò)濾細(xì)微雜質(zhì)，確保機(jī)器不受雜質(zhì)影響和損傷

u 雙銥絲離子源，有效的系統(tǒng)設(shè)計(jì)，防大氣沖擊

u 支持定制檢漏工作臺(tái)，更加便捷使用