RM150A  自動四探針方阻測試儀

RM150A 是專為科學研究設計的自動四探針方阻測試儀，可以對150mm 樣品（或 6 英寸晶圓）進行快速、自動的掃描，獲得樣品不同位置的方阻、電阻率、厚度分布信息。探針頭借鑒了機械鐘表機芯制造工藝，使用紅寶石軸承引導碳化鎢探針，確保高機械精度和長使用壽命。動態測試重復性（接近真實場景）可達0.2% 。1 μΩ ~ 1 MΩ 的超寬測量范圍可涵蓋絕大部分應用場景，可廣泛適用于光伏、液晶面板、半導體工藝、合金、復合材料等諸多領域。

 特性

 全自動多點掃描          多種預設方案供選擇，也可以自定義測試方案 

 手動任意點測量          只需提供坐標，一鍵測量 

 精密探針頭                   鑲嵌紅寶石軸套的探針頭，保證測量的機械精度、穩定性和壽命 

 超寬測量范圍              1 μΩ ～ 1 MΩ

 樣品尺寸              150mm*150mm*5mm 

 測量速度                      ～2 秒/點 

 測量精度                      ±0.2% （標準電阻片) 

 重復性 (1σ)                  0.2% （ITO 標樣動態測試）

 數據可視化                   3D 圖、等高線圖 

 數據自動存儲              存儲為 Excel 格式，便于后期數據分析

典型應用

太陽能電池（單晶硅、多晶硅、非晶硅、鈣鈦礦）

液晶面板（ITO 、AZO 、FTO 等透明導電膜）

新材料研發（石墨烯、碳納米管薄膜、 MXene、導電高分子、二維材料、柔性電子材料、納米復合導電 材料、導電纖維布）

半導體工藝（金屬層/離子注入/擴散層）

儲能電池（鋰電池極片、燃料電池雙極板材料、超級電容電極材料、固態電解質）

 探針頭參數

 探針間距            1.00 mm

 探針材料            碳化鎢

 探針壓力            ~4 N（薄膜）

 機械游移            < 0.3%

 寶石軸承內孔與探針間距   < 6 μm

重復性測試

外觀尺寸（長 * 寬 * 高）

 552 mm * 520 mm * 300 mm