RM300A 自動四探針方阻測試儀

RM300A是專為半導體行業(yè)和科學研究設(shè)計的自動四探針方阻測試儀，可以對300mm樣品（12英寸晶圓）進行快速、自動的掃描，獲得樣品不同位置的方阻/電阻率/膜層厚度分布信息。探針頭借鑒了機械鐘表機芯制造工藝，使用紅寶石軸承引導碳化鎢探針，確保高機械精度和長使用壽命。動態(tài)測試重復性（接近真實場景）可達0.2%。1 μΩ~1 MΩ的超寬測量范圍可涵蓋絕大部分應(yīng)用場景，可廣泛適用于光伏、半導體、合金等諸多領(lǐng)域。

特性

• 全自動多點掃描：多種預設(shè)方案供選擇，也可以自定義測試方案

• 手動任意點測量：只需提供坐標，一鍵測量

• 精密探針頭：鑲嵌紅寶石軸套的探針頭，保證測量的機械精度、穩(wěn)定性和壽命

• 超寬測量范圍：1 μΩ~1 MΩ

• 樣品尺寸：Φ300mm*5 mm

• 測量速度：~2 秒/點

• 測量精度：±1%

• 重復性(1σ)：≤0.2% （ITO標樣動態(tài)測試）

• 數(shù)據(jù)可視化：彩色熱圖和等高線圖

• 數(shù)據(jù)自動存儲：存儲為excel格式，便于后期數(shù)據(jù)分析

應(yīng)用

• 半導體及太陽能電池（單晶硅、多晶硅、鈣鈦礦）

• 液晶面板（ITO/AZO）

• 功能材料（熱電材料、碳納米管、石墨烯、銀納米線、導電纖維布）

• 半導體工藝（金屬層/離子注入/擴散層）

• 非晶合金

定位精度

• 定位精度：50 μm

• 重復定位精度： 5 μm

• 位移分辨率：   1 μm