化工儀器網手機版
移動端訪問更便捷
大塚電子主要銷售用于光學特性評價?檢查的裝置。其裝置用于在LED、OLED、汽車前燈等的光源?照明產業以及液晶顯示器、有機EL顯示器等平板顯示產業以及其相關材料的光學特性評價?檢查。以高速?高精度?高可靠性且有市場實際應用的分光器MCPD系列為基礎，在中國的顯示器市場上有著20年以上銷售實例，為許多廠家在研究開發、生產部門所使用。并且在光源?照明相關方面，對國家級研究機構、各個廠家的銷售量在逐步擴大。
查看更多產品簡介
OTSUKA 大塚電子 手持分體近紅外分光膜厚計產品參數
| 產地類別 | 進口 | 價格區間 | 2萬-5萬 |
| 應用領域 | 醫療衛生,食品/農產品,電子/電池,電氣,綜合 |
OTSUKA 大塚電子 手持分體近紅外分光膜厚計詳細信息
OTSUKA 大塚電子 手持分體近紅外分光膜厚計 OPTM-H1
OTSUKA 大塚電子 手持分體近紅外分光膜厚計 OPTM-H1
利用顯微微分光膜厚計OPTM series的高精度、微小光點，在線提供制作晶片圖案后的微小區域測量等膜厚信息
特點
● 膜厚測量范圍1nm～92μm（換算為SiO2）
● 膜厚值高重復精度
● 1點1秒以內的高速測量
● 最小小點Φ3μm）中瞄準模式
● 適合圖案晶片的膜厚映射
● 能夠取得圖案對準用圖像
核心技術參數
| 項目 | 參數 |
|---|---|
| 光譜區間 | 230～800nm（UV-Vis 紫外波段） |
| SiO?測厚范圍 | 1 nm～35 μm，適配納米級超薄介電層 |
| 最小測量光斑 | 標配 φ20μm，選配高倍鏡頭 φ3μm 微區檢測 |
| 測量速度 | 單點≤1 秒（自動對焦 + 多層膜解析） |
| 重復精度 | SiO?標準片 ≤±0.1nm |
| 解析能力 | 最多同步解析 50 層復合薄膜，同步輸出膜厚、折射率 n、消光系數 k |
| 探頭結構 | 分體輕量化探頭（約 1.1kg），手持 / 機械固定兩用 |
| 通訊 | USB、以太網，對接 MES，導出 Excel 檢測報告 |
核心優勢
紫外波段適配超薄膜
紫外光對 1–100nm 柵氧、氮化硅、超薄光刻膠解析力強，H2/H3 機型無法覆蓋超薄區間；
靈活分體式設計
細長探頭可伸入狹小工裝、晶圓微圖案區域，來料現場快速抽檢，也可搭載機械手量產在線檢測；
納米級微區精準測量
3μm 微小光斑，滿足芯片線路、圖形化晶圓局部薄膜管控；
無損傷檢測
不劃傷軟質光刻膠、超薄氧化層，算法消除基板背面反射干擾；
簡易操作軟件
內置測量向導、批量測量宏程序，自動生成光譜、厚度分布曲線。
規格
關聯品牌
留言咨詢
內容聲明：
您訪問的OTSUKA 大塚電子 手持分體近紅外分光膜厚計產品信息，由日崎國際貿易（成都）有限公司自行發布提供，產品價格為面議，如您想了解更多關于OTSUKA 大塚電子 手持分體近紅外分光膜厚計型號、參數、用途等信息，歡迎咨詢。
該內容的真實性、準確性和合法性由發布會員負責，為保障安全，建議您在購買相關產品前務必確認供應商資質以及產品質量！
相關分類
Categories
該廠商其他產品
Other Products
采購中心
用戶評論
發布評論