一、產品定位

1. B 系列：單氣缸兩位氣動，僅全開 / 全關（隔斷通斷）

2. BH 系列：雙氣缸兩段氣動，全關 + 慢開 + 全開（快慢緩抽）

3. G 系列：氣動伺服無級調節，0~90° 任意開度鎖定

4. BAR/BAZ/GAR：DC24V 電機直驅電動伺服調壓

二、完整型號命名規則

1. G：氣動伺服連續調節蝶閥

2. 法蘭代碼

• N：KF/NW 快裝法蘭（DN25~250 小型腔體）

• J：JIS 日標法蘭（半導體、鍍膜主力，DN25~500）

• I：ISO-F 大法蘭（鋰電、大型蒸鍍，DN25~500）

• C：CF 刀口金屬法蘭（超高真空可烘烤，DN25~150）

3. 數字：公稱通徑 A（DN）

   示例：

• G-J100：JIS100 氣動伺服調節蝶閥

• G-I300：ISO300 大口徑氣源調壓閥

• G-N63：KF63 小型腔體氣動伺服閥

• G-C80：CF80 超高真空可烘烤氣動調節閥

三、核心工作原理（氣動伺服閉環）

1. 外部接入氣動伺服比例閥（配套原廠氣控單元），輸入 0~10V 模擬信號轉換為氣壓指令；

2. 閥頭內置高精度角位移傳感器實時采集蝶板實際開度；

3. 氣缸內置差動氣室，根據反饋氣壓自動修正輸出推力，全程閉環，任意 0~90° 開度穩定鎖止無漂移；

4. 行程末端自帶氣墊緩沖，微小開度氣流線性平穩，無沖擊波動。

四、核心產品優勢

1. 氣源驅動，無電機發熱，適配高溫腔體周邊

   無電氣馬達，無溫升干擾；氣缸耐環境溫度優于電動款，適合爐體、烘烤設備旁安裝。

2. 全行程無級連續調節，微小開度高精度節流

   0.1° 級開度分辨，小流量載氣、微量抽氣穩壓穩定，解決大口徑閥門微調壓波動問題。

3. 超薄閥體、超大流導

   同口徑面間距短，流阻極低，大腔體抽氣節拍更快；無介質流向限制，水平 / 垂直任意安裝。

4. 潔凈低放塵真空構造

   閥體、蝶板、閥桿 SUS304 鏡面電解拋光，無塵室裝配；無內部金屬摩擦滑動件，顆粒析出極低，滿足 Class100 潔凈室。

5. 反壓密封強化結構

   蝶板采用多點球面壓緊機構，正 / 反向真空壓差下密封均勻，保壓性能優于普通氣動蝶閥。

6. 斷電斷氣可選安全配置

   可選彈簧復位氣缸：斷氣自動全關腔體，適配危險工藝、貴重晶圓腔體安全聯鎖。

五、標準技術參數

1. 真空壓力區間

2. 氦檢泄漏指標

• 閥座內漏：≤1×10?1? Pa?m3/s

• 閥桿軸封外漏：≤1×10?11 Pa?m3/s（優于 B/BH 系列）

3. 材質與耐溫

• 過流部件：SUS304 不銹鋼鏡面拋光

• 標準密封：FKM 氟橡膠（-25℃~120℃）；可選 Kalrez 全氟醚（耐鹵素、強酸、150℃烘烤）

• 閥體烘烤上限：150℃；氣動執行器環境溫度≤50℃

4. 氣動驅動條件

• 工作氣源：潔凈無油干燥壓縮空氣 0.4~0.6MPaG

• 控制信號：配套氣控單元接收 0~10V 模擬電壓開度指令

• 全行程動作時間：0.8~1.5s，可調阻尼減速

5. 完整口徑覆蓋

• KF(N)：DN25/40/50/63/80/100/160/200/250

• JIS (J)/ISO (I)：DN25~DN500（行業最大口徑真空伺服蝶閥）

• CF(C)：DN25/40/50/63/80/100/150

六、可選配套與選配功能

1. 氣控伺服單元（必配）

   原廠比例伺服氣控盒：0~10V 模擬輸入，閥位 0~10V 反饋，支持 PLC 閉環 PID 穩壓；帶 RS485 通訊款可接入上位機。

2. 閥位電氣反饋

   4~20mA/0~10V 連續開度模擬信號輸出，實時上傳腔體控制系統。

3. 安全氣缸

   單作用彈簧復位型：失氣自動全關，防止腔體泄壓損壞工件。

4. 密封升級

   Kalrez 全氟醚密封圈，適配等離子、氟化物、強腐蝕特種工藝氣體。

5. 成套氣源附件

   氣源調壓過濾器、兩位五通電磁閥、消音器、快插氣管。