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日本 KATO KOKEN 半導(dǎo)體無塵車間塵源檢測儀 日本 KATO KOKEN 半導(dǎo)體無塵車間塵源檢測儀

1. 產(chǎn)品概述

Apex AP-GR 是加藤興研 Apex 系列旗艦型微粒可視化成套系統(tǒng)，搭載 520nm 綠色半導(dǎo)體連續(xù)激光 + 500 萬像素高靈敏度高速相機(jī)，配套專用 Apex 圖像處理軟件，可清晰捕捉 0.3μm 級微小懸浮粒子；整套設(shè)備實(shí)現(xiàn)粒子成像、軌跡追蹤、實(shí)時計數(shù)、數(shù)據(jù)導(dǎo)出一體化，用于半導(dǎo)體、醫(yī)藥、光伏等高等級潔凈室異物管控、塵源排查與產(chǎn)線工程改善。

2. 全套硬件規(guī)格參數(shù)

表格

模塊詳細(xì)技術(shù)指標(biāo)

激光光源520nm 綠色半導(dǎo)體激光器，連續(xù)光；功率可選 1W/2W/6W 光纖款 / 10W

照射形態(tài)片狀光（席位光）

可觀測粒子常規(guī) 1μm 以上，具備 0.3μm 超微粒子可視化能力

成像相機(jī)500 萬像素高靈敏度工業(yè)相機(jī)，USB3.0 高速接口，75 幀 / 秒，支架

配套軟件 Apex 功能軌跡顯示、3 檔靈敏度切換、ROI 區(qū)域設(shè)置、靜態(tài)差分濾波、浮雕效果、累積亮度成像；實(shí)時粒子計數(shù)、圖表生成、CSV 數(shù)據(jù)導(dǎo)出

3. Apex 全系列型號橫向?qū)Ρ?/p>

表格

型號光源類型最小觀測粒子適用場景定位

AP-GR520nm 綠色激光0.3μm高精度微小粒子觀測，1~1 級高潔凈車間污染評估

AP-Yellow黃光 LED 光源1μm降低激光安全管控壓力，常規(guī)塵源溯源改善

AP-LR紅色 LED 光源5μm簡易粉塵初篩，明亮環(huán)境快速排查

四、五大核心產(chǎn)品優(yōu)勢

1. 可觀測 0.3μm 超微顆粒，適配半導(dǎo)體頂級潔凈車間

綠色激光亮度高、散射成像對比度強(qiáng)，可捕捉晶圓制造關(guān)鍵管控的 0.3μm 級微粒，滿足無塵產(chǎn)線異物管控標(biāo)準(zhǔn)。

2. 一體化成套方案，成像 + 計數(shù) + 分析一站式完成

激光光源、高速高靈敏相機(jī)、專業(yè)分析軟件成套交付，無需額外搭配配件，開機(jī)即可完成粒子拍攝、軌跡記錄、量化計數(shù)與報表輸出。

3. 75fps 高速幀率，完整捕捉粒子動態(tài)漂浮軌跡

高幀率相機(jī)無拖影記錄微粒運(yùn)動路徑，精準(zhǔn)定位人員、設(shè)備、輸送風(fēng)道等各類塵源。

4. 完整數(shù)據(jù)導(dǎo)出功能，改善報告可視化舉證

軟件自動生成粒子統(tǒng)計圖表，支持 CSV 格式導(dǎo)出，可結(jié)合實(shí)拍影像形成標(biāo)準(zhǔn)化改善報告，用于內(nèi)部評審與工藝整改佐證。

5. 多功率激光可選，適配不同觀測距離與腔體空間

1W~10W 多檔位連續(xù)激光可選，光纖款適配狹小設(shè)備內(nèi)部、風(fēng)道深處等復(fù)雜工位布光。

五、核心使用場景與適配行業(yè)

五大標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用場景

塵源定位確認(rèn)：異物不良現(xiàn)場追溯粉塵來源，排查人員、設(shè)備、輸送、氣流四大污染源；

改善前后對比驗(yàn)證：清掃、工藝調(diào)整、設(shè)備改造前后粒子狀態(tài)量化對比，直觀驗(yàn)證改善效果；

潔凈室等級環(huán)境評估：長期可視化監(jiān)測車間懸浮微粒分布，用于潔凈度分級與環(huán)境優(yōu)化；

產(chǎn)線工程改善：觀測設(shè)備內(nèi)部粒子流動規(guī)律，作為良率提升、異物不良對策的依據(jù)；

內(nèi)部報告舉證：影像 + 粒子計數(shù)數(shù)據(jù)結(jié)合，形成可視化報告，推動產(chǎn)線整改落地。

適配行業(yè)

半導(dǎo)體晶圓 / 面板制造、光伏電池車間、醫(yī)藥無菌車間、精密醫(yī)療器械、汽車無塵涂裝車間、食品無菌灌裝產(chǎn)線。