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日本 UNIOPT 半導體晶圓晶體缺陷檢測儀 日本 UNIOPT 半導體晶圓晶體缺陷檢測儀

1. 品牌簡介

ユニオプト株式會社（UNIOPT），日本專業光學測量設備廠商，核心標語Light as the measurement probe，依托多波段激光、Schlieren 紋影光學技術，面向光學元件、半導體、流體實驗提供高精度可視化檢測設備。

2. 產品概述

UMY-10 脈理觀察器采用施利倫（Schlieren）紋影光學法，搭配高靈敏工業相機、10 倍變焦鏡頭、超高亮度白光 LED 光源，可直觀捕捉透明材料局部折射率紊亂（脈理），畫面實時輸出至顯示器，無需專業培訓即可完成高靈敏度無損檢測；配套立式鋁型材機架，視野 Φ75mm，適配光學元件、半導體晶圓、氣流流體觀測多場景。

3. 完整硬件核心參數

表格

項目參數規格

光學原理Schlieren 施利倫紋影法

成像相機高靈敏度工業相機

鏡頭10 倍變焦鏡頭

照明光源超高輝度白色 LED 光源

有效視野Φ75mm

整機結構立式鋁型材升降機架，臺面式載物平臺

觀測輸出實時顯示器成像

4. 同系列機型區分

UMY-10：標準立式垂直光路，常規平板透明件、晶圓檢測；

UMY-20：光軸水平型，搭配專用治具，曲面鏡片無需浸液法，觀測操作更簡便。

四、可觀測檢測對象（脈理定義）

脈理：玻璃等透明介質局部折射率突變區域，設備可檢出以下缺陷 / 現象：

光學玻璃內部脈理、表面劃傷、研磨不均（柚子皮紋理）；

氣體氣流折射率擾動：噴涂噴嘴出氣氣流、風道紊流、空氣對流可視化；

化合物半導體晶圓內部晶體缺陷；

曲面透鏡類工件：可采用折射率匹配浸液法消除曲面干擾完成觀測；UMY-20 水平款可免浸液簡易檢測曲面鏡片。

五、四大核心產品優勢

1. Schlieren 紋影高靈敏成像，微小折射率缺陷可視化

肉眼無法分辨的細微折射率紊亂直接成像，檢出精度覆蓋光學加工、半導體晶圓微觀缺陷。

2. 操作門檻低，無需專業檢測培訓

一體化光學光路 + 顯示器實時成像，普通操作員即可完成批量巡檢，降低人工培訓成本。

3. 一機多用途，固體 / 流體雙向觀測

兼顧固體透明件缺陷質檢、流體氣流可視化實驗，實驗室與產線通用。

4. 大視野 Φ75mm，適配中大尺寸工件

單次觀測覆蓋大范圍樣品，減少多次移動載臺，提升批量檢測效率。

六、三大應用領域

光學行業：光學玻璃、透鏡、棱鏡脈理、劃痕、研磨不良全檢；

半導體行業：化合物半導體晶圓晶體缺陷無損篩查；

流體實驗室：氣流、噴涂氣流、風道紊流可視化觀測實驗。