日本OTSUKA大塚西南代理膜厚測定用MCPD9800

日本OTSUKA大塚西南代理膜厚測定用MCPD9800

日本OTSUKA大塚電子膜厚測定專用MCPD系列，是依托其標志性“瞬間多通道測光”技術打造的高性能光譜干涉式膜厚檢測系統，專為半導體、顯示面板、功能薄膜等行業的高精度膜厚質控場景設計，是兼顧實驗室研發與工業在線監測的通用型膜厚檢測產品。

該系列以多通道并行檢測架構為核心，摒棄傳統光譜儀逐點掃描的低效模式，一次曝光即可捕獲全波段完整光譜，最快5毫秒即可完成單次測量，動態范圍可達1,000,000:1以上，雜散光水平僅為傳統機型的五分之一，能精準捕捉薄膜上下表面反射形成的微弱干涉信號，避免雜散光干擾帶來的膜厚解析誤差。全系列支持65nm~92μm的SiO?當量膜厚測量范圍，可覆蓋從納米級超薄氧化膜到微米級厚涂層的絕大多數工業檢測需求，部分機型還支持多層膜同步解析，適配復雜復合涂層的檢測場景。

產品采用模塊化柔性設計，標配2米長的石英投受光Y型光纖，僅需將小巧的檢測探頭對準待測樣品，主機即可放置在遠離檢測工位的穩定區域，輕松適配真空腔室、CMP研磨工位、成膜產線機臺等復雜安裝環境，無需對產線結構進行大規模改造。全系列搭載USB+LAN雙通信接口，支持遠程控制與數據實時上傳，可直接對接產線PLC系統，實現膜厚數據的實時反饋與工藝閉環調整，在高速運行的薄膜生產線上也能完成全幅面TD方向的膜厚實時監控。

系列內可根據需求靈活選配機型：旗艦款MCPD-9800適配半導體晶圓超薄膜高精度檢測，標準款MCPD-6800以高性價比覆蓋常規實驗室與通用產線質控場景，還可搭配不同波長的檢測器主體，實現從深紫外220nm到近紅外1600nm的全波段覆蓋，適配ITO導電膜、光刻膠、AR增透膜、鋰電池功能涂層等不同材質薄膜的專屬檢測需求。