溫控模塊

制冷/加熱方式

液氮制冷，電阻加熱

溫控范圍

-196~300°C*

-196~600°C*

溫度穩定性

±0.1°C

溫度分辨率

0.1°C

升溫速率

0~150°C/min (可定點/程序段控溫)

溫控方式

PID

溫度傳感器

PT100

光學特性

光路

反射/透射光路（可選反射或透射）

視窗材質

石英玻璃（可選各類材質）

視窗尺寸

φ25mm*

視窗厚度

0.5mm*

物鏡工作距離

8mm*

透光孔

φ2mm*

視窗除霜

上視窗除霜

電學特性

探針

移動探針模組x4 *,手動調整

探針接口

SMA 接口x4*

探針直徑

10μm、50μm、100μm*（可選）

樣品臺面電位

接地（默認接地）/電懸空/三同軸*（可定制）

結構特性

樣品臺尺寸

φ27mm*

樣品臺材質

銅質*

純銀*

外形尺寸

180x112x26mm*

樣品腔高度

5mm*

腔室

氣密

外殼冷卻

循環水

基本配置

探針臺冷熱臺x1、溫控系統x1、低溫系統x1、循環水系統x1、液氮罐2Lx1、溫控軟件

可選配

電腦主機/觸控屏/安裝支架/真空系統/顯微鏡/其他定制/電極接口/濕度系統

可提供

C#/Python/labview 開發包

備注

以上為默認參數  * 為可定制項

其他可選型號

按需求進行配置