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基礎核心參數

1. 測量原理：多通道陣列分光干涉檢測，全息光柵分光架構

2. 核心機型：MCPD-9800 旗艦、MCPD-7700 高感、MCPD-6800 通用標準型

3. 感光陣列：512ch/1024ch 電子制冷光電二極管陣列

4. 波長區間：220~1000nm 多規格光柵模塊自由選配

5. 曝光采集：最短 5ms 高速掃描，最長 65s 長曝光弱光采集

6. 光纖配件：標配 2 米耐彎折石英光纖，φ12 標準通用接頭

7. 通訊端口：USB、LAN 雙接口，支持電腦遠程控制與數據上傳

8. 供電規格：單相 AC100~240V 寬幅工業電源，整機功耗 125VA

9. 機身尺寸：105×230×280mm，整機重量約 6kg，體積較前代縮小 60%

10. 核心運算：內置雜散光校正、膜厚專用分光干涉解析算法

11. 拓展適配：可對接顯微鏡、積分球、多點光纖切換器、真空光路組件

12. 可測參數：透射率、吸光度、反射光譜、發光光譜、色度、薄膜厚度、熒光強度

日本大塚電子OTSUKA 多通道高速分光光譜儀

核心功能特點

1. 全系列多機型、多波長光柵模塊化選配，可根據紫外、可見光、近紅外不同檢測需求自由搭配光路配置

2. 電子制冷陣列感光元件，有效降低暗電流噪聲，弱光熒光、微量紫外檢測信噪比優異，測量重復性穩定

3. 最短 5ms 全光譜同步采集，滿足高速流水線工件實時在線監測，適配半導體 CMP 研磨終點實時判定

4. 內置雜散光校正功能，大幅降低紫外區間測量干擾，提升薄膜、微量溶液光譜檢測精準度

5. 柔性分體光纖光路設計，主機與檢測探頭分離布設，可嵌入真空腔體、高溫設備、狹小機臺內部完成取樣

6. USB+LAN 雙路數據通訊，單機可直連電腦，多臺設備可組網集中管控，產線遠程自動化控制便捷

7. 配套全功能光譜分析軟件，集成色度運算、膜厚擬合、發光光譜解析、批量數據導出報表功能

8. 寬區間可調曝光時長，兼顧高速產線快速檢測與微弱熒光、低透光樣品長積分精準測量

9. 立式緊湊輕量化機身，臺面、電控機柜兩種安裝形態，不占用設備大量布局空間

10. 整機原廠出廠統一光譜精度標定，檢測數據符合日本 JIS 光學行業標準，支持 JCSS 溯源校準認證

適用場景

1. 半導體晶圓制程，氧化膜、氮化膜、光刻膠薄膜厚度在線測量，CMP 研磨終點實時監測

2. 光學鍍膜、鏡片加工廠，AR 減反膜、濾光片透射反射光譜、鍍層均勻度質檢

3. LED/OLED 照明與顯示行業，光源發光光譜、色坐標、亮度、微小像素顯微分光檢測

4. 功能性薄膜產線，PET、涂布膜、蒸鍍膜多層膜厚、透光率批量在線管控

5. 新材料研發實驗室，納米材料、光學樹脂、量子點吸收與熒光光譜實驗分析

6. 第三方光學檢測機構，各類樣品標準化透射、反射、色度、膜厚檢測，出具合規光譜報告

7. 汽車與消費電子質檢，車漆色差、塑膠外殼色度、顯示屏光學性能校準

8. 生化、制藥實驗室，藥液吸光度、溶出度、微量熒光分光定量分析