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產品簡介
| 機械精度 | 0.7um | 三軸行程 | 13mm |
二、核心產品優勢1. 機身小巧,移動便捷,測試穩定整機采用輕量化設計,底座配備德國進口可升降橡膠隔振地腳,能夠削弱桌面基礎振動,無需額外大型光學平臺也可穩定完成扎針測試;底座兩側加裝304不銹鋼一體式把手,單人即可完成搬運轉移,普通實驗臺面均可直接放置使用。2. 精密機械傳動,扎針定位精準樣品臺整體位移分辨率標準為10μm,支持XYZR四維度同步調節;探針座搭載進口交叉滾珠導軌與精密燕尾槽結構,直線運動無回程間隙,可適配1μm及以上尺寸電極、PAD點位精準下針。3. 組件自由選配,適配多樣測試需求整機采用可更換模塊化結構,顯微鏡、探針座、樣品卡盤、屏蔽箱體等配件均可按需增減搭配,擁有五款成像顯微鏡、四檔精度探針座、常溫與加熱兩種卡盤可選,靈活匹配不同樣品觀測與檢測要求。4. 支持微弱低電流檢測搭配專用電磁屏蔽箱使用時,設備漏電檢測精度可達10pA/100fA,整機可承受2000V高壓,能夠滿足微弱電信號、低電流器件的高精度測試需求。5. 操作簡單,運維成本低整機為純手動機械結構,無復雜電控程序,操作人員短時間即可上手;內部無高頻損耗配件,長期連續工作故障率低,大幅降低實驗室后期維護、更換配件的資金投入。 三、整機標準組成結構1. U型探針放置平臺平臺采用加厚鐵磁合金鋼一體加工成型,表面鍍鉻處理,既提升對探針座的磁力吸附能力,也保障臺面超高平面度,避免針座偏移影響測試精度。平臺可同時放置8個DC直流探針座與6個RF射頻探針座;針座固定以磁力吸附為標準方案,可按需升級真空吸附、螺絲鎖緊兩種安裝方式。2. 多規格精密探針座全系探針座XYZ三軸移動行程均為13mm,支持60°角度傾斜調節,共推出四種不同精度型號,適配不同尺寸電極樣品:10μm多功能探針座采用燕尾槽手輪驅動,適合100μm以上電極檢測;3μm探針座搭載進口微分頭與交叉滾珠導軌,適配50至100μm電極;1μm探針座加大三軸行程至20mm,線性位移表現更佳,用于30至50μm微小電極;0.7μm超高精度探針座專為30μm以下微電極研發。探針標配管狀夾具,線纜分為同軸線纜、三軸線纜兩類,同軸線可搭配BNC、SMA、N、香蕉插頭、鱷魚夾等接頭,三軸線匹配進口TR三同軸接口。3. XYZR四維真空吸附樣品卡盤卡盤分為常溫款與加熱款兩種配置,可選4英寸、6英寸兩種尺寸。常溫卡盤材質可選不銹鋼、紫銅鍍鎳、紫銅鍍金,采用環形真空吸附結構,可定制多通道吸附槽,中心預留1mm標準孔位,支持背電極引出;樣品臺XY調節行程110mm,Z軸升降行程10mm,旋轉支持360°無級調節并可鎖緊固定,位移調節精度3μm。選配PID恒溫加熱卡盤可升溫至300℃,控溫精度±0.1℃,有效測溫區域溫度均勻性±5℃,機身預留水冷接口,可外接冷水機輔助散熱,加熱功率分為500W、800W、1000W三種規格。4. 真空吸附配套系統整機配套進口無油干式真空泵,工作電壓AC220V,氣體流量7L/min,真空度可達-60KPa;泵體內置消音結構,運行噪音低,無需加注潤滑油,支持24小時不間斷連續工作。卡盤配備獨立吸附通道與單獨真空開關,可單獨控制樣品吸附力度,裝卸樣品操作便捷。5. 五款可選高清顯微成像系統全系成像系統統一搭載2000W高清像素CCD,支持拍照、錄像、U盤存儲,配備HDMI視頻線可直連顯示器實時觀測;顯微鏡Z軸調焦行程50.8mm,XY位移行程25mm,位移分辨率3μm,搭配24寸萬向調節高清顯示器,整體放大倍率覆蓋20至1000倍,五款顯微鏡適配不同測試場景:FSTGD-500-LW激光成像顯微鏡搭載同軸LED照明與光纖激光接口,適用于硅光、光電Mapping類測試;FST-D750單筒金相顯微鏡適配50μm以上電極常規金相觀測;FST6電子變焦顯微鏡變焦范圍0.7至4.5倍,僅可觀測不透光器件;FST6T雙目體視顯微鏡支持肉眼、CCD雙路觀測,工作距離長,通用各類常規元器件;FST-R500變倍金相顯微鏡配備五孔物鏡轉盤,搭載2X、5X、10X、20X、50X長焦物鏡,兼容近紅外波段樣品觀測。6. 可選配套輔件電磁屏蔽箱尺寸800mm長×600mm寬×750mm高,上翻式開合結構,箱體配備接地端子、后部隱藏式走線口,可隔絕外界光線與電磁干擾,箱體預留轉接接頭,閉合狀態下也可實現箱內外線路連通;精密氣浮隔振平臺整體高度800mm,采用囊式空氣彈簧自動平衡,大幅削弱高低頻振動,臺面高平面度,對測試精度高要求的場景可額外選配;同時可按需加裝筆記本支架、L型、萬向、開爾文、射頻等多種規格探針夾具。四、適配測試器件與應用范圍可檢測器件類型晶圓二極管、三極管、IGBT、MOS功率器件、VCSEL、LD、LED、PD光電器件、PCB電路板元器件、LCD-TFT面板、硅光芯片、存儲器件、薄膜憶阻器、人工神經元器件等均可完成檢測。可開展測試項目設備支持直流IV、CV特性測試,100f超低電流測試,光電響應Mapping測試,器件FA失效分析,元器件電學表征,硅光耦合測試,1/f噪聲測試,器件快速脈沖測試、太陽能電池、射頻I/O點位檢測等多種實驗項目。適用領域廣泛用于各大高校微電子、光電、材料實驗室,科研院所器件研發,中小型半導體企業樣品驗證,可搭建材料電學測試系統、光電探測器響應測試平臺、憶阻器神經元實驗系統等科研設備。五、產品配套全流程服務1. 售前定制選型方案專業FAE技術工程師一對一溝通樣品尺寸、測試電流、溫控、射頻等需求,免費出具整機搭配方案,合理控制采購預算。2. 出廠全項精度檢測所有設備出廠前完成連續通電老化、位移精度、漏電指標全流程校驗,保障交付精度達標。3. 標準質保與年度維保整機享受標準質保服務,質保期內非人為損壞免費維修;質保期滿可簽訂年度維保協議,工程師定期上門完成設備機械保養、精度重新標定。4. 實操教學培訓提供線上遠程教學、線下現場實操兩種培訓方式,教學內容包含設備裝機調試、微米級精準下針、IV/CV電學測試操作、設備日常故障自查,快速掌握完整實驗流程。5. 硬件升級改造服務后期測試項目升級、實驗條件變更時,可在原有設備基礎上加裝加熱模塊、高精度探針座、屏蔽箱等配件,無需更換整套設備,降低升級成本。6. 全國覆蓋技術售后依托濟南總部、北京與深圳分公司搭建全國服務網絡,FAE工程師7×24小時線上遠程解決調試、軟件、工藝問題;濟南本地客戶4小時內上門,北京、深圳覆蓋區域24小時到場,其余省外區域48小時安排工程師檢修。
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