上海禾工科學儀器有限公司
ALT-1-C在線水分儀測定電子級乙酸乙酯水分含量
檢測樣品：電子級乙酸乙酯
檢測項目：水分含量
方案概述：電子級乙酸乙酯是超高純溶劑，具有低金屬、低顆粒特性。主要用于半導體晶圓清洗、光刻膠稀釋及平板顯示制造。作為關鍵濕電子化學品，其純度直接影響芯片良率，是微電子精密制造重要的基礎材料。本例通過ALT-1-C在線測試電子級乙酸乙酯樣品的水分。
關 鍵 詞：電子級乙酸乙酯
應用領域：高純溶劑/半導體/光刻膠
參考標準：GB/T 6324.8-2014
ALT-1-C在線測定電子級乙酸乙酯水分
摘要
電子級乙酸乙酯是超高純溶劑，具有低金屬、低顆粒特性。主要用于半導體晶圓清洗、光刻膠稀釋及平板顯示制造。作為關鍵濕電子化學品，其純度直接影響芯片良率，是微電子精密制造重要的基礎材料。本例通過ALT-1-C在線測試電子級乙酸乙酯樣品的水分。
儀器配置
●ALT-1-C
●全封閉安全滴定池組件
●雙鉑針電極
●放液電解電極
試劑配置
●滴定劑：卡爾費休庫侖法試劑（Merck）
測定方法
●測試原理：卡爾費休反應/極化電流
●準備工作：在試劑瓶中填充足量的卡爾費休庫侖法試劑，檢查廢液桶并清空廢液
●分析流程：開啟ALT-1-C水分測定儀，先執行更換試劑步驟，再啟動分析，等待儀器電解平衡后，即按照乙酸乙酯水分分析程序執行在線水分分析流程
儀器參數
● 終點電位：450mV
● 平衡點位：0.3ug/s
● 電解檔位：自動
● 攪拌速度：5檔
● 漂移扣除：開啟
測試數據
● 環境溫度：25℃ ● 環境濕度：濕度30%
● 測試頻率：1次/小時 ● 單次測試總時間：約7min（清洗上樣約5min，分析時間2min )
序號 | 樣品量/mL | 水含量/ug | 檢測時長/min | 測量結果/ppm |
1 | 0.6 | 18.78 | 2 | 34.7 |
2 | 0.6 | 19.81 | 2 | 36.6 |
3 | 0.6 | 19.10 | 2 | 35.3 |
4 | 0.6 | 17.97 | 2 | 33.2 |
5 | 0.6 | 18.35 | 2 | 33.9 |
6 | 0.6 | 17.81 | 2 | 32.9 |
7 | 0.6 | 18.83 | 2 | 34.8 |
8 | 0.6 | 19.59 | 2 | 36.2 |
9 | 0.6 | 19.75 | 2 | 36.5 |
10 | 0.6 | 20.40 | 2 | 37.7 |
相關產品清單
溫馨提示：
1.本網展示的解決方案僅供學習、研究之用，版權歸屬此方案的提供者，未經授權，不得轉載、發行、匯編或網絡傳播等。
2.如您有上述相關需求，請務必先獲得方案提供者的授權。
3.此解決方案為企業發布，信息內容的真實性、準確性和合法性由上傳企業負責，化工儀器網對此不承擔任何保證責任。
