產品名稱：Onto晶圓缺陷檢測系統PrimaScan
產品型號：PrimaScan
產品介紹
PrimaScan 晶圓缺陷檢測系統以低的單次檢測擁有成本，提供靈活、高靈敏度的解決方案。PrimaScan 系統采用激光散射測量和成像技術，結合專有的光學和傳感技術，可可靠地檢測各種不透明和透明/半透明基板上的納米級缺陷，適用于研發或大批量生產環境。該系統擁有多個檢測通道，能夠檢測、測量、表征和成像表面顆粒、劃痕、凹坑、凸起、表面污染、薄膜或晶圓內部應力、空隙/夾雜物，包括晶圓邊緣的碎屑和裂紋。
性能特點
l PrimaScan 系統可有效應對晶圓進料質量控制和在線工藝監控方面的挑戰。
l 該系統能夠處理多種基板材料，是晶圓生產環境中在線工藝缺陷和污染監控的理想選擇。
l PrimaScan 系統設計兼顧通用性，可處理各種尺寸的晶圓和基板類型。
技術參數
產地：美國
檢測：單次
技術：激光散射測量和成像
檢測類型：晶圓和基板
基板透光率：不透明/透明/半透明
精度：納米級
檢測通道：多個
市場：封裝、裸晶圓及面板制造、CMOS技術、特種產品、工業
基板材料：如玻璃、電路基板等
使用環境：研發或生產
產品應用
不透明或透明晶圓來料質量 (ICQ) 檢測
工藝監控晶圓顆粒和污染物檢測
無圖案光刻膠、介電或金屬涂層晶圓缺陷檢測
透明和半透明薄膜及基板的表面下缺陷檢測
優良封裝用玻璃載體晶圓缺陷和污染物檢測
微流控、AR/VR/MR 微透鏡陣列、平面光學器件等用玻璃晶圓缺陷和污染物檢測
產地 | 美國 |
檢測 | 單次 |
技術 | 激光散射測量和成像 |
檢測類型 | 晶圓和基板 |
基板透光率 | 不透明/透明/半透明 |
精度 | 納米級 |
檢測通道 | 多個 |
市場 | 封裝、裸晶圓及面板制造、CMOS技術、特種產品、工業 |
基板材料 | 如玻璃、電路基板等 |
使用環境 | 研發或生產 |
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