目錄:中科艾科米（北京）科技有限公司>>分子束外延系統>> Epitara™ MBE SYSTEMEpitara™-4'' 分子束外延系統
Epitara™-4'' 分子束外延系統主要特點 / MAIN FEATURE
●專為中大型尺寸樣品設計，可滿足從基礎研究到中試生產的多種實驗需求
● 空間優化設計，確保系統具備高效運行與未來升級能力，方便實驗室布局、安裝與后期維護
● 適配大型電子束蒸源，滿足多樣化樣品制備需求
● 擴展性強，可與其他超高真空系統實現互聯
● 集成控制系統簡化操作，支持程序預設，降低操作復雜度，提升實驗可靠性和重復性
Epitara™-4'' 分子束外延系統技術參數 / TECHNICAL DATA
| 生長單元 | 極限真空 | 優于7×10-11mbar | ||||
| 腔體尺寸 | O.D. 550 mm（可定制） | |||||
| 冷屏及擋板 | 標配 | |||||
| 源爐擋板類型及驅動方式 | 集成/獨立，氣動/手動 | |||||
| 蒸發源接口 | CF63×4+CF100×6/CF63×4+CF100×4+CF250×1（可定制） | |||||
| 烘烤溫度 | Max 150℃ | |||||
| 樣品臺 | 襯底尺寸 | 兼容4inch及以下 | ||||
| 擋板驅動方式 | 電動/氣動 | |||||
| 加熱方式 | 熱輻射 | |||||
| 溫度范圍 | RT-800℃（K型熱偶） | |||||
| 制備單元 | 極限真空 | 優于5×10-10mbar | ||||
| 烘烤溫度 | Max 150℃ | |||||
| 預留接口 | Sample manipulator （CF200×1） | |||||
| 進樣單元 | 極限真空 | 優于5×10-8mbar | ||||
| 存樣數量 | ≥6片 | |||||
| 烘烤溫度 | Max 150℃ | |||||
| 傳樣方式 | 手動 | |||||
| 控制單元 | 基礎配置 | 觸屏面板 | ||||
| 數據記錄 | ||||||
| 樣品臺控制 | ||||||
| 日志，系統管理 | ||||||
| 閥門自動操作 | ||||||
| 可選配置 | 工藝生長軟件 | |||||
| 選配項 | 緩沖單元 | 極限真空：優于7×10-10mbar | ||||
| 烘烤溫度：Max150℃ | ||||||
| 預留接口：Sample transporter（CF200×1），Viewport（CF100×1） | ||||||
| 原位監測 | QCM | |||||
| RGA | ||||||
| BFM | ||||||
| LEED | ||||||
| RHEED | ||||||
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