目錄:中科艾科米（北京）科技有限公司>>分子束外延系統(tǒng)>> Epitara™ MBE SYSTEMEpitara™-2'' 分子束外延系統(tǒng)
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更新時(shí)間：2026-04-14 10:14:43瀏覽次數(shù)：84評(píng)價(jià)
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Epitara™-2'' 分子束外延系統(tǒng)主要特點(diǎn) / MAIN FEATURE
● 模塊化設(shè)計(jì)，支持核心功能模塊自由選配，滿足多步驟、復(fù)雜工藝的應(yīng)用需求，精準(zhǔn)匹配不同實(shí)驗(yàn)?zāi)繕?biāo)
● 集成化程度高，占地面積極小，兼顧性能與空間效率，實(shí)驗(yàn)適用性強(qiáng)
● 適配大型電子束蒸源，滿足多樣化樣品制備需求
● 擴(kuò)展性強(qiáng)，可與其他超高真空系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)互聯(lián)
● 集成控制系統(tǒng)簡(jiǎn)化操作，支持程序預(yù)設(shè)，降低操作復(fù)雜度，提升實(shí)驗(yàn)可靠性和重復(fù)性
Epitara™-2'' 分子束外延系統(tǒng)技術(shù)參數(shù) / TECHNICAL DATA
生長(zhǎng)單元 | 極限真空 | 優(yōu)于7×10-11mbar | ||||
腔體尺寸 | O.D. 400 mm（可定制） | |||||
冷屏及擋板 | 選配 | |||||
蒸發(fā)源接口 | CF35×6，CF35×4（可定制） | |||||
烘烤溫度 | Max 150℃ | |||||
樣品臺(tái) | 襯底尺寸 | 兼容2inch及以下 | ||||
擋板驅(qū)動(dòng)方式 | 電動(dòng)/氣動(dòng) | |||||
加熱方式 | 熱輻射 | |||||
溫度范圍 | RT-800℃（K型熱偶） | |||||
進(jìn)樣單元 | 極限真空 | 優(yōu)于5×10-8mbar | ||||
存樣數(shù)量 | ≥6片 | |||||
烘烤溫度 | Max 150℃ | |||||
傳樣方式 | 手動(dòng) | |||||
控制單元 | 簡(jiǎn)易控制（可選） | 泵規(guī)控制器 | ||||
閥門(mén)手動(dòng)操作 | ||||||
基礎(chǔ)配置（可選） | 觸屏面板 | |||||
數(shù)據(jù)記錄 | ||||||
樣品臺(tái)控制 | ||||||
日志，系統(tǒng)管理 | ||||||
工藝生長(zhǎng)軟件（選配） | ||||||
閥門(mén)自動(dòng)操作 | ||||||
選配項(xiàng) | 制備單元 | 極限真空：優(yōu)于7×10-10mbar | ||||
烘烤溫度：Max150℃ | ||||||
預(yù)留接口:Sample manipulator （CF100×1） | ||||||
原位監(jiān)測(cè) | QCM | |||||
RGA | ||||||
BFM | ||||||
LEED | ||||||
RHEED | ||||||
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