1. 產(chǎn)品概述

Veeco 的 GEN200® MBE 系統(tǒng)是當(dāng)市場(chǎng)上具成本效益和高容量的多 4 英寸生產(chǎn) MBE 系統(tǒng)。該系統(tǒng)在用于泵浦激光器、VCSEL 和 HBT 等設(shè)備的生長(zhǎng)中提供的吞吐量、長(zhǎng)時(shí)間的加工周期和出色的晶圓質(zhì)量。 

提供成本低的 4 x 4“ 外延片生長(zhǎng)

與同類 MBE 系統(tǒng)相比，模塊化架構(gòu)的占用空間要小得多

允許多兩個(gè)生長(zhǎng)模塊，從而提高產(chǎn)量或允許處理不相容的材料

可選的隔板安裝優(yōu)化了潔凈室空間

集成了業(yè)界具創(chuàng)新性、可靠的系統(tǒng)硬件、源和組件

Veeco 的 GEN200® MBE 系統(tǒng)是當(dāng)市場(chǎng)上具成本效益和高容量的多 4 英寸生產(chǎn) MBE 系統(tǒng)。該系統(tǒng)在用于泵浦激光器、VCSEL 和 HBT 等設(shè)備的生長(zhǎng)中提供的吞吐量、長(zhǎng)時(shí)間的加工周期和出色的晶圓質(zhì)量。