產品簡介
| 價格區間 |
5萬-10萬 |
應用領域 |
環保,化工,能源,電子/電池,綜合 |
EBARA荏原干式真空泵ESA系列 京都玉崎爆款
可解決所有真空方案
可定制產品
部分型號大量現貨
日本原裝
熱門爆款
產品介紹
荏原 ESA系列是一款具有多種優勢和特定應用場景的干式真空泵,以下是關于它的詳細介紹:
基本參數1
排氣速度:50Hz 時為 1400L/min,60Hz 時為 1700L/min。
到達壓力:50Hz 時為 400Pa,60Hz 時為 270Pa。
連接口徑:進氣口為 NW40,排氣口為 NW40。
電源:200V 型號為 3 相 / 200V/50Hz 或 3 相 / 200-220V/60Hz;400V 型號為 3 相 / 380-400V/50Hz 或 3 相 / 380-440V/60Hz。
冷卻水流量:3.5-8L/min。
溫度:最高 30℃。
N?流量:14-17Pa•m3/s(4.6)。
電源容量:6.4kVA。
大致質量:240kg。
產品特點
緊湊設計:屬于 10000L/min 以下的型號,設計緊湊,占地面積小,便于安裝和使用,能適應空間有限的工作環境123。
耐腐蝕性能:可選擇耐腐蝕材料選項,有效抵抗腐蝕性氣體的侵蝕,延長設備使用壽命,適用于處理具有腐蝕性的氣體環境123。
輕氣體排氣能力:特別適合氫氣等輕氣體的排氣,能夠高效地將輕氣體排出,滿足相關工藝對輕氣體處理的要求123。
低噪音與低振動:運行時產生的噪音和振動水平較低,不僅為操作人員創造了較為安靜的工作環境,也有助于減少設備振動對周圍設備和設施的影響123。
應用領域
半導體制造:在半導體生產過程中,如 MO-CVD(金屬有機化學氣相沉積)工藝,需要處理大量的氫氣等輕氣體,ESA15-D 能夠滿足大流量輕氣體的排氣需求,確保工藝的穩定性和產品質量123。
液晶顯示(LCD)制造:適用于 LCD 濺射設備,在濺射過程中,可快速排出腔室內的氣體,實現高速排氣,有助于提高濺射薄膜的質量和均勻性123。
真空鍍膜:在真空鍍膜工藝中,需要將鍍膜腔室抽至一定的真空度,ESA15-D 可以快速有效地抽出腔室內的氣體,為鍍膜過程提供穩定的真空環境,保證鍍膜的質量和效果4。
分析儀器:如質譜儀、光譜儀等分析儀器,需要在高真空環境下工作,ESA15-D 可作為前級泵,為分析儀器提供所需的真空度,確保儀器的準確測量和分析4。
其他領域:還可應用于石油、能源、電氣等行業中需要真空環境的工藝過程,如真空干燥、真空蒸餾、真空浸漬等3。