產品簡介
| 價格區間 |
5萬-10萬 |
應用領域 |
環保,能源,電子/電池,電氣 |
京都玉崎 華南一級代理 EBARA
可解決所有真空方案
可定制產品
部分型號大量現貨
日本原裝
熱門爆款
產品介紹
京都玉崎 華南一級代理 EBARA
京都玉崎 華南一級代理 EBARA
EBARA(荏原)是日本有名的工業設備制造商,成立于 1912 年,總部位于東京。其真空泵憑借高可靠性、節能性和*技術聞名,以下是對 EBARA 真空泵的詳細介紹:
干式技術:采用非接觸式密封技術,無需用油或液體密封,能實現清潔真空,避免油和水的回流或擴散,符合半導體制造、食品加工等對潔凈度要求高的場景需求。
耐腐蝕性強:泵體采用全密封結構,如陶瓷涂層、不銹鋼材質等,防止潤滑油進入泵腔。部分泵體經過特殊防腐處理,如鍍鎳或 PTFE 涂層,能耐受酸性氣體和有機溶劑。
智能控制:集成變頻調速系統,可根據負載動態調節電機功率,能耗降低 20% 以上。同時,傳感器實時監測溫度、振動等參數,結合物聯網技術實現遠程故障預警和維護提示。
模塊化設計:支持多級串聯或并聯,抽速范圍覆蓋 10–1000m3/h,可適配不同真空需求。部分型號還具有快速拆卸設計,更換核心部件耗時縮短至 2 小時內,減少停機損失。
EV-S 型:獨立安裝的羅茨型干泵,有著從輕制程工藝到腐蝕性工藝的廣泛應用范圍,具有抽氣速率可變、通信功能等豐富附加功能,實現了 “低能耗、占地小、輕量化"。
ESA 型:適合抽取氫氣等輕氣體的干式真空泵,有不同抽氣速度的型號,可滿足大容量室快速抽氣要求,如 ESA70W 型號可用于半導體生產線的多腔體傳輸系統。
ESR 型:節能型羅茨泵,是多級干式真空泵,設計用于從清潔到中負荷工藝的各種應用,泵速范圍從 35 到 1,625CFM,極限壓力低至 1mTorr。
半導體制造:在晶圓加工、薄膜沉積、蝕刻、離子注入等工藝中廣泛應用,為相關設備提供潔凈、穩定的真空環境,確保工藝精度和產品質量。
制藥行業:用于藥品干燥、蒸餾和包裝等環節,避免油污染對藥品質量的影響,保證藥品的安全性和有效性。
化工行業:適用于腐蝕性氣體或易凝結氣體的抽除,能滿足化工生產中真空蒸餾、真空干燥等工藝的特殊需求。
食品加工:在食品包裝和脫氣過程中,可確保食品的安全和衛生,延長食品的保質期。
科研領域:用于實驗室的高真空實驗,能提供無污染的真空環境,滿足科研實驗的高精度要求。