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X射線工業(yè)CT檢測(cè)系統(tǒng)是一種基于X射線斷層掃描技術(shù)的工業(yè)無損檢測(cè)設(shè)備。它廣泛應(yīng)用于航空航天、汽車制造、新能源、半導(dǎo)體等制造領(lǐng)域,對(duì)工件進(jìn)行內(nèi)部結(jié)構(gòu)的無損檢測(cè)與分析。高能工業(yè)CT檢測(cè)系統(tǒng)已應(yīng)用于“一帶一路"沿線國(guó)家的產(chǎn)品出口質(zhì)量檢測(cè)。
用于壓鑄、鑄造、鍛造、注塑等多種產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的2D X-Ray 檢查及工業(yè)CT檢查設(shè)備。
通過2D X-Ray檢測(cè)設(shè)備,可以更直觀、更明確地掌握樣品內(nèi)部,便于確認(rèn)產(chǎn)品的氣孔及裂紋等缺陷。
通過CT掃描對(duì)2D X-Ray檢查中難以發(fā)現(xiàn)的細(xì)微部分進(jìn)行精密分析,分析內(nèi)部結(jié)構(gòu)的體積數(shù)據(jù)。
其核心功能在于非破壞性地揭示元件內(nèi)部的缺陷(如裂紋、氣泡、焊接不良等),并通過3D重建技術(shù)提供直觀的可視化分析。該設(shè)備廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、電子封裝、航空航天等高精度領(lǐng)域。
技術(shù)原理上,工業(yè)CT設(shè)備通過X射線源發(fā)射穿透性射線,被檢測(cè)物體旋轉(zhuǎn)時(shí)接收器采集多角度投影數(shù)據(jù),經(jīng)計(jì)算機(jī)算法重建為三維體數(shù)據(jù)。其分辨率可達(dá)微米級(jí)(如5.8mm),有效檢測(cè)區(qū)域通常為450*410mm(可定制),掃描長(zhǎng)度可達(dá)1300mm,支持0kg~10kg的載重范圍。
應(yīng)用場(chǎng)景包括:1)半導(dǎo)體封裝中的焊點(diǎn)虛焊檢測(cè);2)芯片內(nèi)部引線鍵合質(zhì)量分析;3)三維集成電路(3D IC)的層間對(duì)準(zhǔn)驗(yàn)證。相較于傳統(tǒng)2D X光檢測(cè),其優(yōu)勢(shì)在于能消除結(jié)構(gòu)重疊干擾,定量分析缺陷尺寸和位置。
選購時(shí)需關(guān)注關(guān)鍵參數(shù):分辨率(決定最小可檢缺陷尺寸)、掃描效率(與樣品尺寸和轉(zhuǎn)速相關(guān))、輻射安全性(符合GBZ 117-2020標(biāo)準(zhǔn))。操作時(shí)需注意:1)樣品需固定于載物臺(tái),避免振動(dòng);2)根據(jù)材料密度設(shè)置千伏(kV)和微安(μA)參數(shù);3)重建算法選擇(如FBP或迭代算法)影響成像質(zhì)量。
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