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Trymax高吞吐等離子清洗機標配4組SMIF密閉載臺,搭載帶X軌道四軸雙臂機械手,機械產(chǎn)能突破300wph,內(nèi)置晶圓冷卻工位與OCR自動對位識別系統(tǒng),可同步執(zhí)...
Trymax晶圓封裝等離子除膠機適配模擬數(shù)字芯片、SiC功率半導體、5G射頻BAW/SAW濾波器、MEMS陣列器件、晶圓級封裝PI薄膜預(yù)處理五大主流賽道,單臺設(shè)...
Trymax等離子去膠機提供四種可自由選配的工藝腔體模塊,2.45GHz微波下游適配整片光刻膠均勻灰化,13.56MHz射頻偏壓用于氮化硅、TaSi金屬薄層蝕刻...
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