1. 概述
日本 MTL(Microtech Laboratory)MRS?7056 是φ70mm 外徑、中空轉盤式直驅伺服執行器,屬于 MRS?70 系列核心型號。它集成交叉滾子軸承 + 高分辨率編碼器 + 外轉子直驅結構,無需減速機與額外軸承,即可實現亞弧秒級定位、零背隙傳動、高剛性承載,為精密自動化提供緊湊、高效、穩定的旋轉運動解決方案。
2. 核心結構與工作原理
直驅無間隙傳動:外轉子結構,負載直接安裝于轉子法蘭,取消齒輪 / 皮帶等中間傳動,消除背隙與彈性變形,響應速度 < 5ms,適合高頻啟停與動態定位。
集成高剛性軸承:內置交叉滾子軸承,同時承受徑向、軸向與傾覆力矩,軸向允許負載 500N、傾覆力矩 3Nm,小體積具備高承載能力。
中空貫通設計:φ25mm 中空內徑,便于線纜、氣管穿設,簡化旋轉平臺布線,提升系統集成度與美觀度。
高精度編碼器系統:標配增量式編碼器(4 倍頻 2,592,000P/R),可選21bit 絕對式(2,097,152P/R);重復定位精度 ±1 脈沖(≈±0.00014°),軸向端面跳動標準 20μm / 高精度 5μm,滿足半導體、光學檢測等超高精度場景。
3. 關鍵技術參數(MRS?7056)
外形尺寸:φ70mm× 胴長 56mm
質量:860g
供電:DC24V/48V(驅動器輸入)
最高轉速:200rpm;額定轉速:100rpm
瞬時最大扭矩:3.1N·m;連續額定扭矩:1.0N·m
編碼器分辨率:增量式2,592,000P/R;絕對式2,097,152P/R(21bit)
定位精度:重復定位 **±1 脈沖 **;軸振5μm(高精度版)
承載能力:軸向500N;傾覆力矩3Nm
4. 性能優勢
超高精度:亞弧秒級定位,5μm 端面跳動,適配晶圓對準、激光掃描、精密檢測等場景。
緊湊輕量化:φ70×56mm、860g,節省安裝空間,適配小型自動化設備與機器人關節。
零背隙高響應:直驅結構,無傳動間隙、響應快、動態剛性高,適合高速精密分度。
高剛性長壽命:日本精工制造,結構簡潔可靠,壽命≥5 年,維護成本低。
易集成:DC24/48V 供電,配套專用伺服驅動器,即裝即用;中空設計簡化布線。
5. 典型應用
半導體:晶圓旋轉平臺、探針臺、光學對準機構
精密光學:激光掃描鏡、相機旋轉臺、光譜儀運動軸
自動化:精密分度盤、小型旋轉工作臺、機器人關節(肘 / 肩)
檢測設備:三坐標測量機旋轉軸、視覺檢測轉臺
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2026/5/22
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