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氣體質量流量計由于可以配備多種通訊模式(模擬量、Modbus、DevicNet、EtherCAT等工業總線協議),以及可對比的標準數據及較高的準確度、精度以及重復性,簡單的安裝方式,以及良好的可操控性等諸多優勢,被廣泛的應用于各種科研實驗、工業設備、以及高精密儀器中。
目前在國內,氣體測量及控制領域內主流的質量流量計主要應用的原理有三種:1、熱式原理,2、差壓式原理,3、科里奧利原理;
1、熱式原理又主要分為毛細管熱式,插入式熱式,以及微電子(MEMS流量芯片)熱式三種,雖然這三種熱式的結構不同,但是原理都是用傳感器感知氣體帶走熱量多少換算出氣體的質量流量。
在這三種熱式質量流量計中,以毛細管熱式技術最為成熟,適用范圍最為廣泛,很多國際品牌均以此原理為主,例如bronkhorst布朗克斯特,horiba等,還有國產品牌的就是七星華創,也是毛細管熱式原理。
2、壓差式,原理是利用泊肅葉定律來進行補償計算,通過測量氣體經過某段管道內前后的壓力差,計算得出氣體的體積流量,然后再換算到標準工況下流量。主要是以Alicat艾里卡特等品牌為代表,國產得蘇州昀控也是層流差壓式原理。
3、科里奧利原理質量流量計,其原理是當流體流經傳感器回路時,由于科里奧利力引起可變相移,這種位移與流體的質量成正比;實際上,科里奧利質量流量計給出的流量數據是純粹的質量流量,有較高的精確度,在實際應用中更多被用于各種液體流量的測量與控制,或者不知道具體組分的混合氣體,以及超高壓高粘度氣體,或氣液混合的流體。例如,進口品牌E+H,科隆,艾默生,這些品牌主要是對流量的測量,如果是需一體式可以同時控制流量的流量控制器,偏小流量的就是bronkhorst的產品,對于大管徑、大流量的控制,加獨立控制閥的也較多。
實際上任何產品原理只是使其具備某些優異性能的一部分因素,而一臺氣體質量流量計所具備的性能優劣以及所能適應的場景,還需要從硬件技術、軟件技術、制造經驗等多方面考慮;如過只是應用了很好的原理,但是其它技術配合不夠理想,那么產品性能可能還不如用傳統原理做出的產品。
蘇州昀控電子科技有限公司致力于開發精準、穩定、快速、可重復性高的流體測量和控制產品,為客戶提供可持續性發展價值。主要產品有高精度電容薄膜真空計、高精度氣體質量流量控制器和高精度壓力控制器等,部分產品可適配或對標國外同類產品的應用場景。產品廣泛應用于航天航空、半導體、泛半導體、光伏、醫藥、化學工業、石油冶煉、電子器件等相關領域以及各大科研院校。憑借穩定的性能和良好的客戶服務,產品贏得了市場的廣泛認可。
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