質量流量計主要分為熱式質量流量計、差壓式質量流量計和科里奧利質量流量計。不同種類的質量流量計其工作原理也不一樣。

熱式質量流量計的工作原理

熱式質量流量計的工作原理基于金氏定律（英文名稱：King’s Law)。

利用外部熱源對管道內被測量的氣體進行加熱，熱能隨著氣體一起流動，通過測量管道內因氣體流動而產生的熱量變化，即：氣體通過管路前后的溫度變化，來計算氣體的質量流量。另一種方法是通過測量加熱氣體時氣體溫度上升到某一點所需要的能量和氣體質量之間的關系來計算得到氣體的質量流量。

熱式質量流量計內的傳感器通常由兩個基準級熱電阻組成，一個是速度傳感器，另一個是測量氣體溫度變化的溫度傳感器。當這兩個熱電阻被置于管道內被測氣體中時，其中速度傳感器被加熱，另一個溫度傳感器則用于測量氣體的溫度。隨著氣體的流量增大，帶走的熱量就上升，那么溫度傳感器自身的溫度就會下降。而溫度傳感器前后的溫度變化值與通過該管路內的氣體的質量流量恰恰是成線性比例的，由此工作原理則可推算出氣體的質量流量。

計算公式：P/△T = A+B(Qm)k

其中，P為消耗功率，△T為氣體經過管路前后的溫度差，A和B為反應氣體屬性的物理常數，Qm為質量流量，K是指數系數。

再說的詳細一點，熱式質量流量計的工作原理還分為恒溫差測量法和恒功率測量法。

熱式質量流量計恒功率測量法的工作原理：

與上述相反，是在保持加熱功率不變的狀態下，通過測量氣體經過管路前后的溫度差來計算質量流量。

熱式質量流量計恒溫差測量法的工作原理：

顧名思義，就是在保持溫度差不變的情況下，通過測量加熱功率的變化來計算氣體的質量流量。該工作原理相對于恒功率測量法來說，優點在于測量氣體質量流量的響應速度較快，線性度較好，可達100：1。

差壓式質量流量計的工作原理