核心工作原理

整機硬件結構

1. 主機控制箱體

   淺灰臺式鈑金機身，尺寸緊湊僅 180×270×183mm，整機重 4.2kg；前面板配置鍍膜時間調節旋鈕、START 啟動按鍵、電源指示燈；頂部透明硬質玻璃真空腔體，內置樣品承載臺與磁控靶座，可快速開蓋取放樣品。

2. 配套微型旋片真空泵（G-5DA）

   排氣速率 5L/min，通過真空軟管與主機腔體連接，快速完成腔室抽真空；體積小巧，噪音低，配套專用真空潤滑油，長期穩定運行。

3. 磁控濺射靶模組

   標準配置 φ30mm 金靶（Au），可選銀靶（Ag）；磁控磁場優化，靶材利用率高，細小樣品鍍膜均勻無陰陽面；靶材拆裝簡易，更換耗材無需專業工具。

4. 真空玻璃樣品腔

   內徑 86mm 透明腔體，可視全程鍍膜過程；樣品臺有效承載直徑 φ30mm，可放置塊狀、粉末、薄膜、生物切片各類小型試樣，最大樣品高度 20mm。

5. 全自動時序控制電路

   內置自動程序，一鍵啟動后自動抽真空→等離子起輝濺射→計時結束→自動放氣開蓋，新手無需培訓即可操作。

日本Shinkuu 桌面小型磁控濺射儀

八大核心功能優勢

1. 一鍵全自動鍍膜，操作零門檻

   單鍵啟動整套流程，自動完成抽真空、濺射、泄壓，省去多步驟手動調節，批量制樣效率高。

2. 小型靶材低耗材，使用成本低廉

   標配 φ30mm 小金靶，單次鍍膜消耗貴金屬極少，對比大口徑濺射靶大幅降低長期實驗耗材支出。

3. 超小型桌面機身，空間適配性強

   整機體積迷你，重量僅 4.2kg，通風櫥、實驗臺、手套箱狹小空間均可擺放，無需專用設備機房。

4. 雙靶材可選，適配兩種觀測場景

   標準金靶：臺式 SEM 低倍、高倍微觀形貌觀察；選配銀靶：透明樣品光學顯微鏡觀測，薄膜透光性好。

5. 磁控濺射成膜均勻，成像效果穩定

   磁場約束等離子體，樣品表面導電膜厚度均勻，無局部過厚、漏鍍，杜絕 SEM 圖像充電、模糊、光斑問題。

6. 一體化成套出貨，開箱即用

   出廠配套真空泵、真空軟管、標準金靶、真空油，無需額外采購配件，連接電源即可開展實驗。

7. 低噪音低功耗，實驗室友好

   微型真空泵運行噪音低，整機 AC100V 低功率供電，長時間連續制樣無過熱故障。

8. 透明可視腔體，過程直觀可控

   全玻璃真空腔，可實時觀察等離子濺射狀態，方便調整樣品擺放、把控鍍膜效果。

適用樣品與行業場景

可處理試樣

適用行業場景

1. 高校材料、生物、地質實驗室：SEM 掃描電鏡樣品導電前處理；

2. 第三方檢測機構：微觀形貌、斷口、粉末形貌檢測制樣；

3. 新材料研發企業：高分子、陶瓷、復合材料微觀表征；

4. 光學實驗室：透明基底超薄銀光學薄膜制備；

5. 地質礦物實驗室：巖石、粉末礦物導電鍍膜觀測。