核心濺射原理

整機硬件結構

1. 主機控制箱體米白色立式鈑金機身，正面圓形前開門真空腔體窗口；面板集成真空調節旋鈕、高壓開關、濺射計時、運行指示燈、急停紅色按鍵；ADVANCE 額外外接數顯真空控制器，實時讀取腔體內真空度；機身印有 SANYU ELECTRON、QUICK COATER SC-701MkII 標識。

2. 八大核心功能優勢

1. 不銹鋼真空腔體內徑 φ90mm、深度 90mm SUS 不銹鋼密封腔，前開門快開式設計，取放樣品快速；內部搭載 φ50mm 圓形樣品臺，靶材 - 樣品間距可調 20~35mm；腔體耐腐蝕、無雜質析出，保證鍍膜純度。
2. DC 磁控陰極靶座2 英寸平板磁控陰極，標配 φ49mm 金靶；ADVANCE 兼容 Au/Pt/Pd/Au-Pd/Pt-Pd/W/Ni/Ti/Al/Cr/Mo 全系列金屬靶材，可制備高分辨觀測、電極、光學各類薄膜。
3. 直連式旋片真空泵20L/min 抽速小型真空泵，機身底部直連主機，自帶自動泄壓閥；抽真空速度快，3 分鐘可達工作真空，噪音低、占地小，整機成套一體，無需額外管路布置。
4. 電控時序系統濺射計時 0~15 分鐘可調，連續模式最長 30 分鐘；高壓最高 1.2kV，輸出電流 0~9.9mA 連續可調；過流、短路自動斷電保護，長時間穩定運行無漂移。
   日本sanyu-electron 桌面型離子濺射鍍膜儀

3. 適配樣品與行業場景

1. 系列最小緊湊型機身，桌面任意擺放

   主機體積小巧，ECO 僅 160×255×286mm，整機 10kg，通風櫥、實驗臺、狹小實驗室均可放置，無需專用機房。

2. 間歇濺射標配，保護熱敏易碎樣品

   間斷鍍膜抑制熱積累，生物試樣、高分子、超薄塑料不會變形燒損，適配低損傷高分辨 SEM 觀測。

3. 靶材間距自由可調，適配各類試樣

   通過樣品墊塊快速調整靶材 - 樣品距離，大塊塊狀、微小粉末、切片樣品均可均勻鍍膜。

4. 雙版本可選，滿足不同預算與實驗需求

   ECO 基礎款僅金靶簡易噴鍍，性價比高；ADVANCE 帶氬氣進氣 + 真空計，十余種靶材通用，兼顧研發多配方薄膜實驗。

5. 20L/min 直連真空泵，抽氣效率高

   一體式泵組，省去外接真空管路，抽真空速度快，批量制樣無需長時間等待。

6. 皮拉尼真空計（ADVANCE），成膜條件可復現

   精準顯示腔體真空數值，固定真空、電流、時間參數，每次鍍層厚度一致，實驗數據可重復，適合論文、工藝研發。

7. 一機兩用：SEM 制樣 + 電極薄膜制備

   除電鏡導電鍍膜，還可沉積金屬電極、反射光學薄膜，微電子、光電實驗室通用。

8. 操作極簡，新手快速上手

   開門放樣品→關門抽真空→設定時間電流→一鍵啟動，結束自動泄壓，培訓 5 分鐘即可獨立操作。

4. 可處理試樣

5. 塑料、橡膠、生物組織切片、粉末、陶瓷、玻璃、半導體晶圓、絕緣涂層、礦物巖石、高分子薄膜。

6. 適用行業場景

1. 高校材料、生物、地質學院：SEM 掃描電鏡微觀形貌觀測前處理；

2. 第三方檢測機構：斷口、粉末、鍍層微觀表征制樣；

3. 微電子研發：器件金屬電極薄層沉積；

4. 光學實驗室：超薄反射、透光金屬薄膜制備；

5. 新材料企業：陶瓷、復合材料、納米粉體形貌分析。