| 產地類別 |
進口 |
價格區間 |
1-5萬 |
| 應用領域 |
綜合 |
日本愛發科ULVAC 電阻加熱真空蒸發鍍膜機
VFR-200M 屬于 ULVAC DEPOX 小型真空成套系列，把擴散主泵、旋片前級泵、真空閥門、真空測量儀表、控制電路全部整合在單臺移動機架內，分為純抽氣機組與一體化蒸鍍機兩大版本，專門面向高校、企業小型研發實驗室使用。設備核心采用三通切換閥結構，更換樣品、開啟鐘罩腔體時無需關停擴散主泵，大幅縮短復抽真空等待時間。
日本愛發科ULVAC 電阻加熱真空蒸發鍍膜機
風冷擴散泵集成一體，實驗室免水路配套
傳統擴散泵真空系統必須外接冷卻水，改造實驗室管路成本高；VFR-200M 全系擴散泵搭載內置風冷散熱結構，通電即可運行，無需水冷機、水管鋪設，普通實驗室臺面、通風柜旁均可放置。整機所有閥路、泵體、電控封閉在統一機架，管線布局規整，無零散外置泵體。
三通閥不停泵開蓋，大幅提升實驗效率
內置專用三通切換閥，換樣品時腔體通大氣、前級泵獨立抽氣，擴散主泵持續高溫工作無需降溫重啟；傳統設備每次開蓋都要關停擴散泵等待冷卻再升溫，單次實驗等待時間大幅縮短，適合頻繁換樣、多批次試樣對比研發場景。
雙真空計全程監測真空狀態
機架正面集成皮拉尼真空計（粗真空）+ 電離真空計（高真空） 兩塊數顯表頭，實時直觀顯示腔體內壓力；系統到達鍍膜工藝真空時可直觀讀數，判斷蒸鍍啟動時機，儀表統一集成在機架，無需額外單獨采購真空測量設備。
VFR-200M/ERH 蒸發款，一站式薄膜制備設備
頂部配備透明可視玻璃鐘罩，內部搭載電阻加熱蒸發電極，原廠蒸發電源配套，可蒸鋁、金、鉻、氧化介質等各類薄膜；最多拓展四路蒸發源，實現多層復合膜同步沉積；鐘罩側面預留多組電極、通氣法蘭接口，可加裝離子清洗、氣氛通入配件。
日本愛發科ULVAC 電阻加熱真空蒸發鍍膜機
機架模塊化拓展，配件統一收納
整機機架預留標準安裝位，液氮冷阱、油霧過濾器、自動放氣閥、外置真空計等選購配件均可直接加裝在本機上，不用額外搭建支架；設備自帶吊裝吊環，搬運、進實驗室電梯方便，底部萬向腳輪 + 水平調節支撐腳，移動后調平穩定無晃動。
安全與維護設計
閥路結構精簡，管路接頭、密封件數量少，日常檢漏、更換密封件操作簡單；擴散泵、旋片泵檢修口外露，更換泵油、清理泵體不用拆解整機；內置油霧過濾模組，防止真空油返流污染腔體薄膜試樣，保障鍍膜潔凈度。
適用行業場景
高校材料學院：金屬薄膜、光電薄膜、導電電極、納米材料蒸鍍實驗；
光學研發：玻璃、石英基板反射膜、增透膜小型試樣制備；
電子實驗室：PCB 小片、半導體晶圓、元器件電極沉積；
企業研發部：新材料涂層、防腐薄膜、功能膜工藝摸索；
理化檢測：真空環境下樣品表面觀測前預處理。
低運維長期穩定運行
原廠配套專用真空油，泵體密封耐久度高；風冷散熱穩定，長時間連續抽氣無過熱停機；整機出廠完成真空檢漏標定，年度僅需更換密封圈、定期更換泵油，普通實驗人員可獨立完成保養。
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