一、品牌背景

• 1952 年創(chuàng)立于日本，亞洲*大真空綜合廠商

• 產(chǎn)品線*全：從粗真空、中真空到超高真空（分子泵、離子泵）全覆蓋

• 國內(nèi)有工廠 & 完shang售后，日系設(shè)備配套首xuan，半導(dǎo)體、面板廠大量標(biāo)配

• 定位：精密、穩(wěn)定、日系品質(zhì)、適配嚴(yán)苛工藝

二、主流干式真空泵系列（* 常用）

1. LR / LRZ 系列（螺桿式干泵，半導(dǎo)體主力）

• 雙螺桿干式無油真空泵

• 特點(diǎn)：耐腐蝕、抗粉塵、抗水汽、排氣穩(wěn)定、低振動

• 用途：刻蝕、CVD、PVD、晶圓清洗、先進(jìn)封裝、面板制程

2. DIS / DVS 系列（爪式干泵，工業(yè)通用）

• 無油爪式結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)簡單、故障率低、維護(hù)便宜

• 用途：鋰電、光伏、鍍膜、脫泡、檢漏、中小型工業(yè)真空

3. VS 渦旋干泵（小型）

• 靜音、小型、潔凈，實(shí)驗(yàn)室、分析儀器、檢漏用

4. 油式旋片泵（GLD 系列）

• 經(jīng)典爆款，實(shí)驗(yàn)室、普通工業(yè)、真空包裝，性價(jià)比高

5. 超高真空產(chǎn)品線（愛發(fā)科強(qiáng)項(xiàng)）

分子泵、渦輪分子泵、真空計(jì)、檢漏儀、真空閥門，一站式真空系統(tǒng)方案

三、核心優(yōu)勢（對比荏原、愛德華）

1. 日系精密性*強(qiáng)，真空控制、穩(wěn)定性、密封性極 jia

2. 超高真空領(lǐng)域碾壓同級，分子泵、檢漏儀全球頂 尖

3. 耐酸堿、氟化物、腐蝕性氣體能力強(qiáng)，適配半導(dǎo)體嚴(yán)苛氣體

4. 體積緊湊、噪音低、能耗控制**

5. 日系設(shè)備兼容性*好：應(yīng)用于日系半導(dǎo)體設(shè)備、鍍膜機(jī)、濺射機(jī)

主要應(yīng)用行業(yè)

半導(dǎo)體、TFT 面板、OLED、光伏、鋰電池、真空鍍膜、濺射、科研實(shí)驗(yàn)室、醫(yī)療器械、化工、檢漏