一、全型號(hào)與核心參數(shù)（IX?D 只有 2 個(gè)基礎(chǔ)型號(hào)）

1）IX?D150（中流量）

• 流量范圍：0.2–150 L/h（50/60 Hz）

• 最高壓力：1.0 MPa（10 bar）

• 調(diào)節(jié)比：750:1

• 泵頭材質(zhì)

• PVDF（T 型）：0–50°C，耐強(qiáng)酸強(qiáng)堿

• SUS316（S6 型）：0–80°C，衛(wèi)生 / 高溫工況

• 隔膜：PTFE 復(fù)合隔膜（耐腐、低析出）

• 接口：3/4" NPT / 法蘭

• 重量：約 28 kg

• 功率：約 60 W

2）IX?D300（大流量）

• 流量范圍：0.4–300 L/h（50/60 Hz）

• 最高壓力：0.5 MPa（5 bar）

• 調(diào)節(jié)比：750:1

• 泵頭材質(zhì)：PVDF（T）/ SUS316（S6），同 D150

• 溫度：PVDF 0–50°C；SUS316 0–80°C

• 接口：1" NPT / 法蘭

• 重量：約 35 kg

• 功率：約 110 W

型號(hào)命名示例（便于選型）

• IX?D300TEN?RF?2：D300 + PVDF 泵頭 + 模擬 / 脈沖通訊 + 右置控制器

• IX?D150S6?1：D150 + SUS316 泵頭 + 標(biāo)準(zhǔn)控制器

二、核心技術(shù)特點(diǎn)（半導(dǎo)體關(guān)鍵）

1. 數(shù)控直驅(qū)，±1% 高精度

   獨(dú)立控制吸入 / 吐出速度，全流量范圍精度 ±1%，遠(yuǎn)高于傳統(tǒng)計(jì)量泵（±3–5%）。
2. 750:1 超寬調(diào)節(jié)比

   一臺(tái)泵覆蓋 0.2–300 L/h，減少備件、簡(jiǎn)化系統(tǒng)。
3. 低脈動(dòng)，穩(wěn)定給藥

   僅調(diào)節(jié)吐出速度，沖程固定，脈動(dòng)極低，配合緩沖器可做到接近無(wú)脈沖，適合光刻膠、顯影液等敏感藥液。
4. 全 PTFE 接液（可選）

   PVDF/PTFE 隔膜 + 泵頭，無(wú)金屬離子析出，滿足半導(dǎo)體高純要求（SEMI S2/S8）。
5. 豐富通訊與控制

• 手動(dòng)（MAN）

• 模擬量（4–20 mA / 0–20 mA）

• 脈沖控制（0.0156 mL / 脈沖起）

• Profibus?DP 通訊（Fab 自動(dòng)化集成）

6. 節(jié)能 70%，低發(fā)熱

   螺旋齒輪 + 輔助彈簧設(shè)計(jì)，功耗比傳統(tǒng)泵降 70%，適合 24 h 連續(xù)運(yùn)行。

三、半導(dǎo)體行業(yè)運(yùn)用場(chǎng)景（精準(zhǔn)、高純、閉環(huán)）

1. 濕法刻蝕（BOE、磷酸、HF）

• 用途：刻蝕液 精準(zhǔn)補(bǔ)充、濃度閉環(huán)控制

• 推薦型號(hào)：IX?D150T（PVDF）

• 理由：耐 HF/BOE，±1% 精度，配合 W600 控制器做 pH / 濃度自動(dòng)補(bǔ)加。

2. 晶圓清洗（RCA/SC1/SC2/DHF）

• 用途：氨水、雙氧水、稀 HF 精密配比與添加

• 推薦型號(hào)：IX?D150T / IX?D300T

• 理由：低脈動(dòng)、無(wú)金屬污染，防止晶圓表面顆粒 / 金屬殘留。

3. CMP 制程（漿料、拋光液）

• 用途：漿料稀釋、添加劑微量投加、液位 / 電導(dǎo)率閉環(huán)

• 推薦型號(hào)：IX?D150T

• 理由：低脈動(dòng)防顆粒團(tuán)聚，PTFE 接液不污染漿料。

4. 化學(xué)鍍 / 電鍍（鍍銅 / 鎳 / 金）

• 用途：鍍液金屬離子補(bǔ)充、pH/ORP 精密調(diào)節(jié)

• 推薦型號(hào)：IX?D150S6（SUS316，高溫）

• 理由：80°C 耐高溫，配合 W600 控制器做 金屬濃度 + pH 雙閉環(huán)。

5. 超純水（UPW）與化學(xué)品配送

• 用途：酸堿再生劑精準(zhǔn)投加、高純藥液批量輸送

• 推薦型號(hào)：IX?D300T

• 理由：大流量（300 L/h）、低脈動(dòng)、長(zhǎng)壽命，適合 Fab 中央化學(xué)品配送。

6. 光刻 / 顯影（顯影液、剝離液）

• 用途：顯影液濃度微調(diào)、剝離液定量輸送

• 推薦型號(hào)：IX?D150T

• 理由：低脈動(dòng)、無(wú)顆粒，防止光刻膠圖案缺陷。

四、IX?D 與 IX?C / TC?X 快速區(qū)別（選型不踩坑）

• IX?D：0.2–300 L/h，0.5–1.0 MPa，±1%，電機(jī)直驅(qū) → 半導(dǎo)體高純 / 精密加藥

• IX?C：0.08–150 L/h，0.4–1.0 MPa → 中小流量精密加藥

• TC?X/TTD：隔膜泵，大流量 / 強(qiáng)腐蝕，精度 ±3–5% → 輸送 / 循環(huán)，不做精密配比

五、半導(dǎo)體推薦型號(hào)清單