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更新時(shí)間：2026-05-30 13:58:55瀏覽次數(shù)：32評(píng)價(jià)
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| 供貨周期 | 兩周 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子/電池,航空航天,電氣 |
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進(jìn)口IWAKI易威奇CFD/PDS 系列微量定量泵
進(jìn)口IWAKI易威奇CFD/PDS 系列微量定量泵
單沖程吐出量：5 mL/shot
最大壓力：0.15 MPa
接液材質(zhì)：PTFE / PFA / 精細(xì)陶瓷
溫度：15–25°C（常溫）
粘度：≤1,000 mPa?S
精度：重復(fù)性 ±0.5%
單沖程吐出量：12 mL/shot（最大）
最大壓力：1.0 MPa（高壓）
吐出速度：0.5–2.0 mL/sec
吸入速度：0.3–2.0 mL/sec
接液材質(zhì)：PTFE / PFA / 陶瓷
溫度：0–60°C
粘度：≤10,000 mPa?S（超高粘，可送光刻膠）
精度：重復(fù)性 ±0.3%（業(yè)界頂尖）
特色：后拉式維護(hù)（不拆配管）、單元模塊化、長(zhǎng)壽命
超高精度：±0.3% 重復(fù)精度，光刻膠 / 顯影液分配無(wú)偏差。
高粘度適配：10,000 mPa·S，可直接輸送光刻膠、厚膠、高濃度剝離液。
高壓輸出：1.0 MPa，適配長(zhǎng)距離 / 高阻力管路。
全氟 + 陶瓷：無(wú)金屬、耐強(qiáng)酸強(qiáng)堿，兼容 HF、BOE、SPM。
低脈動(dòng)：風(fēng)囊式結(jié)構(gòu)，脈動(dòng)＜0.01 MPa，防光刻膠氣泡 / 團(tuán)聚。
易維護(hù)：后拉式設(shè)計(jì)，無(wú)需拆管即可更換風(fēng)囊 / 閥件，減少停機(jī)。
光刻膠涂覆（Spin Coater）：PDS?H115 專用，精準(zhǔn)分配 5–12 mL / 片，高粘光刻膠（5,000–10,000 mPa?S）穩(wěn)定輸送，無(wú)氣泡、無(wú)顆粒。
顯影 / 剝離工藝：顯影液、光刻膠剝離液（高粘）定量供給，濃度穩(wěn)定。
晶圓清洗（批量 / 單片）：大流量微量補(bǔ)液（5–12 mL/shot），適配高壓噴淋。
CMP 拋光液：高固含漿料精準(zhǔn)投加，防沉淀、防顆粒團(tuán)聚。
化學(xué)品配送：高純酸堿 / 溶劑中微量定量輸送，高壓長(zhǎng)距離。
| 對(duì)比項(xiàng) | CFD 系列 | PDS?H115 |
|---|---|---|
| 流量 | 0.4–8 mL/shot | 5–12 mL/shot |
| 壓力 | 0.05 MPa | 1.0 MPa |
| 精度 | ±1% | ±0.3% |
| 粘度 | 低–中 | ≤10,000 mPa?S（高粘） |
| 驅(qū)動(dòng) | 氣動(dòng) | 電機(jī)（伺服） |
| 核心場(chǎng)景 | 清洗 / 刻蝕微量補(bǔ)液 | 光刻膠涂覆、高粘藥液分配 |
| 價(jià)格 | 較低 | 較高（高精度） |
微量補(bǔ)液（清洗 / 刻蝕） → CFD?1T?B（1 mL/shot）
中微量補(bǔ)液 → CFD?8T?B（8 mL/shot）
光刻膠涂覆 / 高粘分配 → PDS?H115（12 mL/shot，±0.3%）
標(biāo)準(zhǔn)中微量 → PDS?105R（5 mL/shot）
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