愛發科 ULVAC 中型腔體適配低溫泵類 ULVAC CRYO-U6H

愛發科 ULVAC 中型腔體適配低溫泵類 ULVAC CRYO-U6H

設備規格參數詳情

CRYO-U6H 低溫泵整體采用一體化集成機身結構，整機尺寸針對中型真空腔體配套需求優化，出廠搭載行業通用標準化真空法蘭，可直接匹配同規格真空管路，無需額外定制轉接配件。內部裝配升級雙級制冷機芯，搭配獨立溫控監測模塊，能夠持續采集低溫板實時溫度，直觀呈現設備運行狀態。配套專用分體式制冷壓縮機，連接管路長度滿足車間常規設備擺放距離，安裝布局靈活不受限。整機適配通用工業供電標準，內部電氣元件增設多層絕緣防護結構，運行功率保持平穩區間，不存在瞬時功率大幅波動問題。設備空載降至標準工作低溫擁有固定時效，單次再生流程耗時標準化，內部吸附腔體經過擴容設計，具備更大氣體存儲容量，能夠支撐長時間不間斷真空作業。機身外殼選用耐銹蝕金屬材質，適配常規室內工業使用環境，出廠配備全套標準固定安裝配件，無需單獨采購輔助固定構件。

核心結構與性能特點詳情

本款低溫泵核心依靠兩級 GM 制冷架構完成氣體冷凝吸附工作，設備內部設置分層兩級低溫吸附板，針對不同沸點氣體分子分層捕捉，全程無需潤滑油脂參與抽氣流程，從源頭消除油蒸汽污染腔體的隱患，滿足各類對真空潔凈度有嚴格標準的加工工序。機型在提升抽速性能的同時完成輕量化緊湊設計，摒棄傳統大流量低溫泵厚重框架結構，整機自重控制合理，可實現傾斜、倒置等多種非常規姿態安裝，不受真空腔體擺放造型約束。設備運行過程中壓縮機產生的振動經過多層緩沖結構削弱，傳遞至泵體的振動幅度極低，整機運行噪音維持較低區間，不會對車間光學檢測、精密測量儀器形成聲波干擾。內置溫控組件不間斷監測低溫板面溫度，溫度出現異常波動時可直觀反饋設備工況，便于工作人員及時掌握設備運行情況。擴容后的吸附腔體有效拉長兩次再生操作的間隔時長，減少停機維護頻次，降低生產流程中斷帶來的影響。機身內部零部件排布規整有序，僅拆卸外部防護護罩即可接觸核心組件，清潔、檢修流程步驟精簡，降低操作難度。

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