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緊湊型超高真空設備 ULVAC 愛發科低溫泵類 CRYO-U4H依托雙級 GM 制冷技術實現低溫抽真空，無需液氮、液氦輔助制冷，整機結構小巧輕便，可多角度安裝作...

愛發科 ULVAC 中型腔體適配低溫泵類 ULVAC CRYO-U6H采用雙級 GM 制冷結構，依托低溫吸附冷凝形成無油污超高真空，無需額外低溫冷媒補給。機型擴...

愛發科 ULVAC 大腔體適配低溫泵類CRYO-U8H 搭載強化雙級 GM 制冷結構，依靠低溫冷凝吸附構建無油污超高真空，無需低溫冷媒補給。機型擴容吸附腔體實現...

ULVAC 愛發科 量產設備適配低溫泵CRYO-U8H-U 搭載增強型雙級 GM 制冷系統，依靠低溫冷凝吸附打造無油污超高真空，無需持續補給低溫冷媒。機型優化吸...

愛發科 ULVAC 長效作業型低溫泵CRYO-U8HL 搭載長效優化雙級 GM 制冷系統，依托低溫吸附冷凝形成無油污超高真空，無需低溫冷媒持續補給。機型加大內部...

濺射專用高性能低溫泵 ULVAC 愛發科CRYO-U8HSP 為濺射工藝專屬優化低溫泵，搭載強化雙級 GM 制冷結構，無需低溫冷媒補給。設備大幅提升氬氣存儲容量...

大流量中型量產低溫泵 ULVAC 愛發科 CRYO-U10H 搭載雙級 GM 制冷冷頭，依托低溫冷凝吸附生成無油污超高真空，無需持續補充低溫冷媒。機型氮氣、氫氣...

濺射工藝專用大容量低溫泵 ULVAC 愛發科 CRYO-U10HSP為濺射工藝定制款低溫泵，搭載兩段式 GM 閉環制冷系統，無需低溫冷媒補給。相比標準 U10H...

大腔體高熱負荷低溫泵 ULVAC愛發科CRYO-U12H 搭載高負載雙級 GM 制冷系統，依托低溫冷凝吸附生成無油污超高真空，無需低溫冷媒持續補給。機型整體抽氣...

矮型長效連續作業低溫泵 ULVAC 愛發科 CRYO-U12HL 采用扁平化低矮機身設計，依托雙級 GM 閉環制冷實現無油潔凈超高真空，無需低溫冷媒補給。內部擴...

大型濺射專用低溫泵 ULVAC 愛發科 CRYO-U12HSP 為大型濺射設備定制低溫泵，搭載高負載雙級 GM 制冷系統，無需低溫冷媒補給。內部吸附結構針對氬氣...

中大型量產高負荷低溫泵 ULVAC 愛發科 CRYO-U16 搭載高負載雙級 GM 制冷系統，依托低溫冷凝吸附構建無油污超高真空，無需低溫冷媒持續補給。整機氮、...

高負荷濺射專用低溫泵 ULVAC 愛發科 CRYO-U16 衍生高負荷濺射專用機型，搭載強化雙級 GM 制冷系統，無需低溫冷媒補給。設備提升氬氣持續流通上限與氫...

高負荷濺射專用低溫泵 ULVAC 愛發科 CRYO-U20P 為大型批量濺射設備定制機型，搭載大功率雙級 GM 制冷系統，無需持續補給低溫冷媒。內部吸附倉針對氬...

標準大口徑通用低溫泵 ULVAC 愛發科 CRYO-U20H 為通用標準型大口徑低溫泵，搭載兩段式 GM 閉環制冷系統，依靠低溫冷凝吸附產出無油污超高真空，無需...

超大口徑濺射適配低溫泵 ULVAC 愛發科 CRYO-U22P 為大型濺射工藝定制機型，搭載大功率兩段式 GM 制冷系統，無需持續補給低溫冷媒。設備針對氬氣、氫...

大法蘭寬工況通用低溫泵 ULVAC 愛發科 CRYO-U22WB 為 22 系列通用寬負荷低溫泵，搭載大功率兩段式 GM 制冷系統，無需低溫冷媒持續補給。整機氮...

大腔體通用標準低溫泵 ULVAC 愛發科 CRYO-U22H 為 22 英寸標準通用低溫泵，搭載雙套大功率雙級 GM 制冷系統，無需低溫冷媒持續補給。整機水汽抽...

大腔體通用標準低溫泵 ULVAC 愛發科 CRYO-U30H 為 30 英寸超大口徑標準低溫泵，搭載雙套大功率雙級 GM 制冷系統，無需持續補給低溫冷媒。整機水...

低溫制冷壓縮機泵類 ULVAC 愛發科 C10 為中小型低溫泵配套專用 GM 制冷壓縮機，機身緊湊輕量化，采用風冷散熱結構，運行功耗平穩，自帶多重壓力保護機制。...