大腔體高熱負荷低溫泵 ULVAC愛發科CRYO-U12H

大腔體高熱負荷低溫泵 ULVAC愛發科CRYO-U12H

設備規格參數詳情

CRYO-U12H 低溫泵采用一體化筒式整機結構，整機尺寸面向半導體、顯示面板等行業中大型真空腔體配套需求定型，出廠標配 UVG300 大口徑標準真空法蘭，同時兼容 10B ANSI 法蘭標準，可直接對接同規格真空管路腔體，無需額外定制轉接配件。內部搭載高負載強化雙級 GM 制冷機芯，搭配雙通道獨立高精度溫度監測模組，可分別采集 80K 屏蔽筒與 15K 低溫吸附板實時溫度，完整直觀反饋整機制冷運行工況。配套原廠 C30VRT 大功率分體式制冷壓縮機，柔性連接管路適配廠房大范圍設備擺放間距，多泵并聯布局時管路排布靈活，不受產線空間限制。整機適配通用工業供電標準，內部電氣組件增設多層絕緣防護結構，運行功率長期維持平穩區間，不存在瞬時功率大幅波動現象。設備空載降溫至標準工作低溫區間具備固定標準時長，單次再生流程操作標準化，內部吸附腔體容積擴容升級，氮氣、氬氣、氫氣、水汽存儲容量充足，氬氣最大耐受流量可滿足持續通入工藝氣體的工況需求，可支撐長時間不間斷真空作業。整機外殼選用耐腐蝕金屬材質，適配潔凈量產車間與恒溫實驗室環境，出廠配備全套標準化固定安裝配件，無需單獨采購輔助固定構件，設備自重經過平衡優化，單人配合工裝即可完成吊裝安裝，多機組并聯運行可進一步提升腔體整體抽氣效率，適配超大容積真空設備配套使用。

核心結構與性能特點詳情

該款低溫泵以兩段式 GM 閉環制冷架構作為核心實現氣體冷凝吸附作業，設備內部設置分層兩級低溫吸附結構，一級 80K 屏蔽筒負責捕捉水汽、大分子雜質，二級 15K 低溫板搭配活性炭吸附層，分層捕獲氮氣、氬氣、氫氣等各類工藝氣體，整套抽氣流程全程不使用潤滑油脂，從根源杜絕油蒸汽返流污染真空腔體，滿足半導體晶圓、光學基板鍍膜對真空潔凈度的嚴苛標準。機型針對量產工藝高熱負荷場景優化制冷輸出功率，制冷冷頭換熱效率提升，能夠穩定應對連續工藝氣體釋放帶來的熱量堆積，長時間運行不會出現抽速衰減問題，適配長時間持續通入氬氣、氫氣的鍍膜、刻蝕工序。機身在擴容大容量吸附倉的同時完成輕量化緊湊優化，摒棄傳統大抽速低溫泵厚重笨重框架結構，整機自重控制在合理區間，可實現豎直、傾斜、倒置等多種非常規姿態安裝，不受真空腔體外形、腔體擺放高度與自動化產線布局約束。設備運行階段壓縮機產生的振動經由多層緩沖結構充分衰減，傳遞至泵體的振動幅度極低，整機運行噪音維持低位區間，不會干擾車間膜厚檢測、光學均勻度測量等高精度儀器正常工作。雙通道溫控組件不間斷監測兩級冷頭溫度，溫度出現異常波動時可直觀反饋設備工況，方便操作人員實時掌握設備運行狀態，提前預判吸附飽和節點。大容量吸附腔體有效拉長兩次再生操作的間隔時長，大幅減少停機維護頻次，降低連續量產產線中斷帶來的產能損耗。機身內部零部件排布規整有序，僅拆除外部防護護罩即可接觸全部核心組件，清潔、檢修整體操作步驟精簡，降低現場操作人員作業門檻，多泵并聯運行模式還可分攤單臺設備氣體負載，進一步延長整機長期使用壽命。

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