ULVAC愛發科干式真空泵,是無油式真空獲取設備,依托多級螺桿/渦旋壓縮結構實現腔體空氣抽取,整機無潤滑油參與氣路運行,可規避油污污染真空腔體的問題,適配潔凈度要求較高的精密制程場景。設備核心結構由進氣過濾模塊、多級壓縮腔體、驅動電機、排氣降噪結構、溫控保護模塊組成,通過多級逐級壓縮排氣的工作邏輯,逐步降低腔體內部氣壓,形成穩定真空環境,區別于傳統油泵設備,干式結構可長期保持氣路潔凈,適配半導體、新材料、精密實驗等高潔凈工況。
設備核心技術優勢集中在無油潔凈設計、穩定抽速與工況適配能力。整機氣路無油污染,可滿足高潔凈制程的環境要求,規避油污附著工件、影響成品精度的問題。設備抽速區間覆蓋多類工業制程需求,真空度梯度穩定,升壓、降壓過程平緩,不會對精密工件、薄膜材料造成結構影響。內置溫度保護與過載保護模塊,可在高溫、負載異常工況下自動調控運行狀態,降低設備故障概率,適配長時間連續作業需求。設備搭配對應真空計可實現真空度實時監測,形成抽真空、測真空的閉環管控。
在精密制造場景中,真空鍍膜、真空燒結、材料脫氣、實驗室真空試驗等工序,對真空環境潔凈度、真空度穩定性要求較高,傳統油式真空泵易產生油污揮發,污染腔體與工件,無法適配精密制程。愛發科干式真空泵可持續輸出潔凈真空環境,運行振動幅度小、排氣穩定,可匹配產線常態化連續生產。設備密封結構設計優良,氣密性表現穩定,長期運行真空衰減幅度低,能夠保障制程工藝參數統一。
產品體系主要分為小型干式真空泵、中型工業干式泵、高真空機組三類,小型機型適配實驗室試驗、小型試樣處理;中型機型適配量產產線鍍膜、脫氣制程;高真空機組適配半導體、精密電子等高要求工況。當前精密制造行業真空制程持續向無油潔凈、低運維、高穩定性方向迭代,干式真空設備逐步替代傳統油式設備,ULVAC愛發科干式真空泵憑借潔凈運行、適配場景廣、運行穩定的特性,成為精密制程真空獲取環節的核心配套設備。